台大打造先進半導體製程研究場域 一站式平台全台師生共享

台大重點科技研究學院在國科會計畫支持下，於台大水源校區卓越研究大樓建置先進半導體製程研究場域，將有助持續強化台灣於半導體產業的硬軟實力，提升台灣半導體領域學術研究發展，不僅促成國際交流，也能與產業共同培育人才。

這項計畫由國科會投入新台幣3億元、台大校方挹注約1億元，在台大水源校區卓越研究大樓內設置無塵室內與量測設備，涵蓋解析度可達8奈米的電子束微影、原子層薄膜沉積與蝕刻、以及奈米材料與半導體元件量測等設備，提供從元件製作、製程開發到分析驗證的一站式服務，成為可供各校共同使用的共享創新研發平台。

計畫辦公室召集人、國立暨南國際大學校長武東星說明這個計畫的緣起。他指出，過去全國各大學校院做半導體研究，設備始終跟不上時代，因此在國科會支持下，於北、中、南各校院建置60台重點設備；最重要的是所有大學教授和學生都可利用這個平台做半導體研究。他說：『(原音)過去有感於我們為了培養更多的人才，所以在這次計畫有個非常大的重點，就是雖然建置在台大、建置在中山、建置在交大或成大，但是所有全台灣的大學教授跟他的師生團隊，只要對半導體研究，他想要從事這方面的研究，都可以經由一站式的網站來作申請。』

台大半導體製程及系統研究中心無塵室。(楊雨青攝)

台大表示，這個計畫3年來增加不少使用人次，學生可藉由這些設備進行研究，以光學微影技術，達到2奈米的元件。相較半導體廠內多數以量產產品為主，學校端則可以做更多研究，與業界也能有更多互補，未來將持續提升服務量能、促進產學研合作、進行資源共享以及國際交流。

這項計畫目前與台積電、力積電、鈺創、富采、瑞儀、群創及閎康等國內企業合作，金額約達新台幣8,400萬元。主要研究議題包括先進半導體製程技術與設備開發、新世代記憶體與AI運算電子元件、矽光子與先進光電元件。國際合作部分則與美國賓夕法尼亞大學(University of Pennsylvania)共同成立半導體研究中心，推動跨國專題研究、人才共同培育等學術交流。