【晶圓廠離奇事件簿】牛打嗝、5滴水造成良率下降 被亡靈詛咒…連薩滿法師都來了
護國神山台積電在全球積極布局，目前晶圓廠累計已達24座，美國亞利桑那第1期晶圓廠去年底量產，第2期、第3期工廠正如火如荼興建。不只是台積電，包括英特爾、恩智浦等都在亞利桑那設廠；多年來，國內外晶圓廠卻也流傳造成設備故障、產線停擺的各種離奇事件，原因從動物打嗝、原住民亡靈等等不一而足，有些直到現在還無法從技術、科學角度解釋，讓工程師們茶餘飯後大嘆「難道科學的盡頭是玄學？」
由荷蘭資深科技記者馬克．海因克（Marc Hijink）撰寫的《造光者;Focus: The ASML Way》一書描述半導體設備巨擘ASML崛起故事。馬克在〈護理大軍〉第17章節中寫道，亞利桑那州的荒漠平原矗立著一座座半導體晶圓廠，英特爾、摩托羅拉、恩智浦都在此設廠，而台積電兩座嶄新晶圓廠也聳立在地平線上。
「鳳凰城每年有近300天豔陽高照，但晶圓廠內的無塵室卻始終不見天日，與外界完全隔絕，不容許任何人事物影響生產」。廠內設備承載著滿盤的晶圓，沿著軌道來回穿梭，往返於不同機台之間。「然而，一旦設備發生故障，整條生產線就會停擺，那些機器就在堵在交通事故現場的車輛，卡在車陣中動彈不得」。
造價昂貴 曝光機堪稱晶圓廠心臟
尤其是曝光機，它堪稱晶圓廠的心臟，也是最昂貴的設備，負責關鍵的生產製程，最快的設備每小時可產生300片晶圓，而晶圓上的每顆晶片價值達25萬美元。因此，曝光機必須時時刻刻維持全速運轉。
馬克在書中提到，曝光機只要定期保養，通常能維持98%至99%運作。但是，「人為疏失始終無法完全避免，包括線路鬆脫、螺絲未鎖緊、工具掉落，或是鏡頭上出現指紋或刮痕等」，這些都還算可挽救的範圍。
無塵室裡最糟的狀況，是漏水或光罩受損。光罩是晶片結構的獨特藍圖，更換一片要花數十萬美元。一旦光罩出問題，廠內高層會立即聚集到機台邊。
台積電廠：5滴水落在機台膠層 自動產出瑕疵晶片
威姆．帕斯是台積電鳳凰城廠區的現場主任，他對馬克敘述自己曾遇過最棘手的案例。「廠區內有一台浸潤式機台經常出現莫名其妙的故障；每次重新開機後的兩小時都會生產出有瑕疵的晶片，然後又恢復正常，彷彿什麼事也沒發生過。」
後來他們花了幾個月才查出原因。原來，每次機器停止運轉，都有5滴水珠落在膠層上，導致膠層膨脹數奈米；這小小的變化足以讓晶片圖案出現偏移。等到水分蒸發後，膠層又恢復原狀，讓人找不到機器出錯的蛛絲馬跡。
無法預期的狀況不僅來自機台本身。「無塵室雖然盡可能與外界隔絕，有時仍無法完全阻擋外在干擾」；包括地震和雷雨造成的氣壓變化，都可能干擾微影製程。甚至有時候，問題居然出現在幾頭牛身上。
英特爾廠：牛放屁、打嗝造成晶圓良率降低
英特爾就遇過一個離奇狀況，有一陣子，晶圓廠每天良率都莫名其妙下降數小時。「研究人員想破頭才發現，元凶竟然是牛放屁與打嗝。」
每天凌晨1點到兩點之間，風向會改變。附近乳牛場排放的甲烷氣體會穿過空氣過濾系統，溜進無塵室。這些「鄰居」睡夢中所排放的氣體居然足以影響生產，導致良率下降。由於英特爾無法找到有效過濾氣體的方式，只好花錢請3座牧場搬遷。此後，所有為晶圓廠選址的人都知道，要特別注意廠區附近有沒有牧場。
某晶圓廠疑似被亡靈詛咒 只好請薩滿來作法
晶圓廠裡還發生過更離奇的事。馬克繼續寫道，大約20年前，亞利桑那某座晶圓廠的曝光機頻頻出問題。廠內工程師說：「從技術角度完全無法解釋，不只是ASML設備出狀況，所有系統都有問題。」後來有人指出，晶圓廠位置所在地，很久以前曾是原住民的墓地。廠長認為「晶圓廠一定是被詛咒了。」
於是，他們請來一位薩滿巫師。薩滿一到場就發現問題所在，工廠入口處的水泥方尖碑看起來很像墓碑。他指的那個方尖碑說，「想安撫亡靈，最好先把那些東西拿掉。」接著，薩滿穿上無塵衣去檢查生產線。檢查完後，他對廠長說，「亡靈喜歡紅色。」語畢默默離開。
現場剛好有一個ASML鏡頭包裝箱是亮紅色的，廠長把紙箱折成一個小帳篷的形狀，放在曝光機上。
不可思議地，所有問題都奇蹟般消失了。那個紅色小帳篷在機台上放的好多年，沒人敢動它。後來，這家晶圓廠訂購新機台時，還特別向ASML提出要求，能不能在第二台機器上，也放一個紅色小帳篷。「Of course no problem！」
嘉義封裝廠興建以來風波不斷！
事實上，晶圓廠靈異事件不只發生在國外，台灣也時有所聞，尤其台積電嘉義封裝1廠去年5月整地時曾因挖出繩紋陶遺址而停工；後來，台大考古團隊進駐進行搶救挖掘，挖出出土物件包括繩紋陶及其破片，另有少量石刀、箭鏃、貝殼、獸骨等，還發現數具兒童及成年個體墓葬，出土文物已暫存於嘉義縣文化局。12月之後，嘉義封裝1廠獲准繼續興建。
嘉義廠復工後，工地意外頻傳！自今年5月以來，已發生6起工安事件，釀2死2重傷。先是5/20有工人從鷹架墜落導致癱瘓。接著在5月26日，進行設備移入作業時，吊車吊掛指揮手遭重達2噸的變壓器壓中，不幸身亡。7/16則有女工遭300公斤重的冰水管砸傷，導致不治。7月20日，有一輛重約50噸板車翻覆，幸無人員傷亡。
據了解，廠區曾於7月17日恭請地藏王、土地公到工地坐鎮，祈求工程平安。而板車翻覆後隔天，亦曾安排乩童到工地作法，幫祖靈爭取興建「萬善同歸」小廟，祭祀無主亡靈，並插下黑令旗，要求廠方信守承諾。
民俗專家廖大乙曾指出，人安、靈安與神安才有工安，台積電嘉義廠恭請關公鎮廠，但關公的神格是要消滅妖魔鬼怪，難免與祖靈產生衝突，廠區自然不得安寧。他建議以和為貴，誠意對待祖靈的感受，蓋廟祭祀亡靈以保佑施工平安。
針對這座「萬善同歸」小廟是否已規劃興建，或已興建完成？至截稿前，台積電尚未回應。
不只是嘉義廠，台積電2奈米生產和研發重鎮皆位於新竹寶山，新竹縣長楊文科曾公開透露，為了台積電蓋廠，寶山鄉大崎村村民幾乎都遷移了，就連神明跟公墓也跟著遷移。所幸，在搬遷前，已先跟保生大帝擲杯請求，獲得允准。對於公墓遷移，則承諾興建新的納骨塔，也獲得同意。
楊文科還說，台積電員工用最有效率、最認真、最負責、最果斷的方式去解決問題。「跟其他公司都不一樣，我非常敬佩。」