從熊本震災中學習 韓專家解讀台積電如何從25年前學習、進化
Newtalk新聞
韓國《朝鮮日報》刊載該報評論委員兼科技部次長郭守根（Kwak Soo-keun）分析半導體工廠在地震中的防護進化。回顧 1999 年台灣發生 7.3 級強震時，台積電的產線一度全面停擺；然而到了 2024 年，面對 7.2 級強震來襲，台積電不僅沒有停電，廠房也未受損，甚至在震後僅短短 10 小時內，就有 70% 的生產設備恢復運轉。這 25 年來，半導體產業已經徹底學會如何與地震共存。
郭守根指出，一般建築的抗震設計主要為防止倒塌以爭取逃生時間，但這對半導體廠而言遠遠不夠。在生產晶圓的無塵室中，排列著無數極精密設備，包含每台價值高達數千億韓元的極紫外光（EUV）曝光機，以及蝕刻、沉積與清洗機台。即便廠房建築完好，只要機台位置或水平出現微小偏差，生產就會完全停滯。此外，電力、真空系統、特殊氣體與超純水的供應若瞬間中斷，正在加工的晶圓將全數報廢。
為此，現代半導體廠導入了能夠消散衝擊的減震技術。為了降低震動傳遞，廠房在地面與建築結構之間鋪設由橡膠與鋼板製成的彈性墊，並於內部安裝減震裝置。無塵室的地板設計更能阻絕平時的微震，一旦系統偵測到地震訊號，自動安全機制就會瞬間切斷化學物質供應。
然而，確認建築結構安全只是復原作業的開端。工程師必須針對超精密的曝光機重新校正光學系統與機台水平，同時逐一檢查生產線上的晶圓是否受損，以及超純水與氣體管線的完整性。在 2024 年的強震中，台積電雖然核心設備安然無恙，但部分晶圓報廢仍造成約 1,200 億韓元的經濟損失。
近日，位於日本熊本的台積電廠房同樣挺過了 7.1 級強震，並已開始分階段復工。文章最後強調，無論是守護台灣的「矽盾」，還是支撐日本的半導體復興，背後依靠的不僅是先進的製程電路，更是在危機發生時能夠減緩衝擊、安全停機並迅速復工的強大工學實力。