台積電美廠內部首曝光 「銀色高速公路」亮相
台積電近日罕見展示美國亞利桑納州「Fab21」晶圓廠生產影片,空中軌道的晶圓自動化物料搬運系統被形容為「銀色高速公路」(silver highway),還有數百台極紫外光(EUV)等微影設備,以5/4奈米為客戶生產先進晶片。(記者洪友芳)
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台積電近日罕見展示美國亞利桑納州「Fab21」晶圓廠生產影片,空中軌道的晶圓自動化物料搬運系統被形容為「銀色高速公路」(silver highway),還有數百台極紫外光(EUV)等微影設備,以5/4奈米為客戶生產先進晶片。(記者洪友芳)