台達電(2308)買下日本Noda RF，只為了一項「藏在晶圓製程深處」的關鍵技術？

台達電子(2308-TW)今（29）日公告，旗下全資子公司 Delta Electronics（Netherlands）B.V.（簡稱 DEN） 將以約50.24億日圓（折合新台幣約10億元） 收購日本 Noda RF Technologies Co., Ltd. 及其子公司 全部股權，強化公司在半導體製程設備電源領域的布局。

台達電表示，本次交易已獲董事會通過，收購目的在於「完善本公司半導體設備電源方案的布局」。交易完成後，Noda RF 將成為台達電百分之百持股子公司，雙方將結合在高頻電漿電源與射頻（RF）控制的技術優勢，推進精密製程電力解決方案的開發。

什麼是半導體製程電源？

Noda RF Technologies 是日本專精於高頻電漿與射頻電源系統的公司，產品廣泛應用於半導體製程、真空鍍膜與先進材料領域。透過本次併購，台達電可望補足過去在半導體製程電源（RF Power Supply） 的技術缺口，從單純的電源模組供應商，升級為整體製程能效解決方案提供者。

電漿射頻電源系統是半導體製程（如蝕刻、薄膜沉積、離子植入等）中的關鍵設備。它是決定製程精度、能效與良率的重要技術環節，屬於半導體設備供應鏈中高技術壁壘的一環。主要代表企業包括 Advanced Energy、Comet、MKS、AE、日本的ENI（已併入MKS） 等。

隨著 AI 晶片、高效能運算（HPC）、化合物半導體需求持續升溫，設備端對穩定、高精度電漿控制的需求同步攀升。台達電此舉有助於切入全球半導體製造能效市場，與國際大廠如東京威力科創（Tokyo Electron）、應用材料（Applied Materials）等建立更深層合作關係。