大銀 SEMICON 首秀 1 奈米驅控器！矽光子檢測機台訂單排到明年第二季
上銀科技與大銀微系統今年參與 SEMICON Taiwan 2026 國際半導體展，大銀微系統執行副總游凱勝表示，這次展示自主研發的「1-Nano（一奈米）驅控器」與六軸精密微動模組，成功克服矽光子光耦合的訊號損耗痛點，受惠矽光子檢測機台大量出貨的挹注，訂單能見度已直達明年第二季。
游凱勝表示，今年聚焦晶圓定位、奈米級檢測、矽光子應用、薄膜製程與先進封裝自動化，以 MD-ZT 多維度定位平台即時補正晶圓姿態，提供半導體設備 7 天 24 小時精準長效運作，並展示矽光子從晶圓級測試、光耦合器與光纖陣列單元（FAU）組裝、光引擎測試、系統級測試四大測試平台。
游凱勝指出，CPO（共同封裝光學）發展至 800G，甚至 1.6T 的趨勢，光引擎的測試與耦合對位面臨極大挑戰，傳統的線性移動已無法滿足需求，對位過程中的微小抖動（Jitter）會導致嚴重的光學損耗。
大銀微系統推出具備三個線性軸與三個旋轉軸的「六軸多維度定位平台」，游凱勝指出，平台搭載最新的「1-Nano 一奈米驅控器」，能實現 ±1nm 的伺服穩定度，搭配高倍率顯微鏡的放大取像，影像清晰穩定，檢出率達 100%，成為高階量測與檢測設備的核心。
因應製程由圓轉方的新世代演進，游凱勝指出，310x310mm 尺寸持續朝 515x510mm 發展，對於異質整合的翹曲挑戰、長行程的累積誤差問題提供解決方案；MD-ZT 多維度定位平台，具備 5 個自由度的精準定位功能，可在晶圓檢測過程即時補正晶圓的姿態變化，有效克服鏡頭對焦問題。
大銀微系統憑藉高度的機電整合自製能力，從線性馬達、奈米級控制器、驅動器到定位平台皆為自主研發，游凱勝指出，其非接觸式傳動的線性馬達不僅無摩擦、無異音，更具備高推力密度與極微型設計，大幅縮減半導體廠房的占地面積，並達成 50,000 小時 MTBF（平均故障間隔時間）的量產可靠度。
游凱勝說明，目前矽光子晶圓級測試機台從第二季開始出貨，並在第三季獲得兩次追加訂單，預計明年第二季將再追加兩次，整體追加的訂單讓能見度一路延伸至明年第二季，目前產能滿載，交期約為三個月。
游凱勝強調，為消化快速累積的訂單，預計啟動兩階段擴產計畫，第一階段，今年 6 月投入約 8,000 萬元資本支出，帶動產能增加約 2 成，第二階段預計今年第四季至明年 2 月陸續完成，再追加 6,000 至 7,000 萬元資本支出，總資本支出上看 1.5 億元。
（首圖來源：科技新報）