沒它EUV光刻機難工作！中國宣布限制氦氣出口 全球晶圓製造供應鏈壓力再升級
中國官方近日發布公告，正式宣布將對面向全球市場的氦氣供應實施出口限制措施。儘管業內評估認為，受限於中國在全球氦氣市場佔比有限，此舉不至於對全球晶圓代工產業造成災難性衝擊，但在 AI 熱潮推升晶片需求之際，無疑將使本已脆弱的全球半導體供應鏈進一步緊縮。
氦氣是半導體製造不可或缺的核心原料，廣泛應用於氣相沉積、晶圓冷卻與刻蝕等關鍵製程，難以找到物理特性完全匹配的替代品，尤其在產業最前端，氦氣肩負為極紫外光 (EUV) 光刻機降溫的重任，這類超高精密設備運轉時產生巨量熱能，唯有依靠氦氣才能高效導出。因此，氦氣供應的任何波動，都可能對滿載運轉的晶片產線產生連鎖效應。
根據美國地質調查局截至今年 3 月的統計，全球氦氣產能仍由美國主導，年產達 8100 萬立方公尺，卡達、俄羅斯、阿爾及利亞與加拿大緊隨其後，中國與波蘭則並列全球第六，年產約 300 萬立方公尺，僅佔全球總產量的 1.6%，產能基數相對有限。
此前，英特爾執行長陳立武已在一場產業峰會上提醒，除備受關注的資料中心電力瓶頸外，氦氣供應短缺與價格波動正成為產業盲點，未來恐對半導體及 AI 晶片產能擴張帶來超乎預期的衝擊。
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