拚1滴水用4次 半導體業者加速布局永續

AI浪潮帶動半導體需求快速攀升，也讓高耗電、高耗水的半導體供應鏈面臨減碳壓力。面對國際客戶淨零要求，環球晶、南亞科等業者加速布局綠電，也從節能製程、水資源循環及化學品回收等面向著手，在AI時代兼顧算力成長與永續發展。

「半導體與AI算力永續競爭力論壇」登場，南亞科資深副總經理吳志祥表示，晶圓廠屬高耗水產業，每日用水量達上萬公噸，因此提高水資源循環利用率是重要課題。南亞科持續推動製程用水回收，目前以平均1滴水可循環使用4次以上作為管理目標，並朝導入再生水方向發展。他說：『(原音)使用效果，比如說1滴水可以使用循環4次以上作為一個客觀的標準，或回收率多少百分比。水的問題下一步就是再生水，像我們公司現在來源是從桃園大圳，要把工業的水循環變再生水，民生用的水要變再生水，這個代價很高，大概都是用倍來算。但我想台積也做了很多，科學園區或縣市政府也做了很多，這是一個方向。』

他表示，南亞科也將有害及一般廢棄物納入全流程管理，以確保符合法規，並已將回收有機溶劑再製為工業級原料循環利用，未來將持續與專業廠商合作，推動電子級化學品回收技術，提高資源循環利用率。

環球晶副總經理黃耀毅表示，矽晶圓是半導體產業基礎，不論AI晶片、HBM(高頻寬記憶體)、先進封裝或邏輯製程，都仰賴矽晶圓。不過矽晶圓製造最大的挑戰在於高耗能，其中，長晶製程需加熱至約攝氏1,300度，是最耗電的環節。為降低碳排，環球晶持續投入節能設備、提升熱能利用效率，並以低碳原物料取代高碳排材料。

為因應國際客戶減碳要求，環球晶也已將RE100目標由2050年提前至2040年，並成立專責綠能公司統籌綠電採購。黃耀毅指出，台灣綠電價格約為美國德州3倍，且供應相對不足，因此公司要求所有新建廠房全面朝RE100規劃，除採用當地綠電，也同步導入低耗能設計。

此外，環球晶也導入4R策略，包括減量(Reduce)、重複使用(Reuse)、回收(Recycle)及重新設計(Redesign)，並與工研院合作優化設備與製程，從源頭降低能源消耗與碳排放。 (編輯：沈鎮江)