「浸潤式微影之父」當面開砲高為元！林本堅：共事4年並不好、再4年恐更糟
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清華大學校長高為元赴美參與遴選爭議持續延燒。清大半導體研究學院院長、中研院院士林本堅10日當著高為元的面直言，兩人共事4年的經驗「並不是那麼好」，除質疑誠信受到動搖的人是否還能被交付重大責任，也揭露半導體研究學院進駐中華校區後，原爭取6000萬元整修老舊建築，校方最初僅提供約2000萬元，導致工程一再流標。他擔憂，若第一任期的決策方式沒有改變，接下來4年「可能會更加不好」。
公開報導對校方最初核給金額分別記載為「2000萬元」與「2000多萬元」，本文以「約2000萬元」表述。可以確認的是，林本堅公開表示，學院提出6000萬元整修需求，最初取得的經費遠低於需求，工程也因而反覆流標。
「誠信不好，重要責任就不能交給他」
林本堅首先從高為元赴美參與遴選的爭議談起。他表示，自己在國外產業界工作數十年，企業選擇高階主管時，進入最後階段的人選能力往往相差不大，此時真正決定一個人能否被託付重大責任的關鍵，就是誠信。
林本堅直言，如果一個人的誠信不好，別說是總裁（President），連副總裁（Vice President）都不能做。這項標準不只涉及高為元赴美參與遴選是否違反規定，更關係到一所國立頂尖大學的領導人，在信任受到質疑後，是否還適合掌握重大人事、財務與發展決策。
高為元在說明會上表示，希望清華繼續「往前走」，並給他時間以後續表現證明自己。林本堅則反問，「往前走」本身並不是答案，更重要的是，由現在這位校長帶領清華往前走，對學校究竟是不是好事。
共事4年經驗不好 憂再4年恐怕更糟
林本堅隨後將批評從赴美爭議，拉回高為元2022年上任以來的校務治理。他公開表示，自己與高為元共事4年的經驗「並不是那麼好」，並擔憂高為元若再領導清華4年，「可能會更加不好」。
這番話格外受到矚目，原因在於林本堅目前仍是清大半導體研究學院院長，必須在校內行政體系中推動研究、產學合作、人才延攬、建設及經費計畫；半導體研究學院也是政府因應國家重點產業發展，由國發基金結合民間企業資源設立、負責培育高階人才的重要單位。
對於高為元在說明會上列舉清大近年在國際化、研究、募款及校務基金等方面的成績，並提出「百大、百億」目標，林本堅也直言，校長所列出的許多成果，其實是清大教授及研究團隊做出來的。
他指出，教授負責研究、技術突破與人才培育，校長的責任則是協助學院取得資源、排除行政障礙，並在關鍵時刻作出明確、迅速的決策。然而，半導體研究學院近年雖投入大量心力推動發展，也花費不少時間處理校內行政壓力，尤其遇到財務及重大事項時，經常感受到校方「遲疑不決」。
6000萬整修只獲約2000萬 工程反覆流標
林本堅並以半導體研究學院進駐中華校區的整修案，具體說明他所質疑的決策問題。
中華大學停辦後，校地由清大接手，清大規劃成立「清華²科技園」，並安排半導體研究學院率先進駐。林本堅表示，學院面對老舊建築需要改善，原本提出約6000萬元整修預算，但校方最初只提供約2000萬元，資金與實際需求差距過大，導致工程一再流標，也讓參與計畫的同仁相當失望。
他還指出，學院處理重大事項，尤其涉及財務決策時，相關承辦人員往往告知「要等校長決定」。問題不只在於經費少了約4000萬元，更在於決策延宕所付出的時間成本。
半導體產業的技術競爭分秒必爭，學院同樣必須爭取教授、學生、研究計畫及企業合作，實驗室與教學空間也必須如期到位。林本堅因此質疑，如果連一項相對單純、已確定進駐的校舍整修案，都要耗費這麼長的時間，未來4年碰到更重大、更急迫的校務決策，又要等待多久？
6年募得逾3億元 林本堅：校內支援也應及時到位
林本堅也強調，半導體研究學院並非只向校方爭取經費。過去6年間，他與團隊已替清大取得超過3億元贊助，積極向企業及外界籌措資源。
清大半導體研究學院自2021年籌設以來，即採政府與企業共同投入的模式，合作對象包括台積電、聯電、世界先進、南亞科技、環球晶圓、東京威力科創及美光等國內外半導體企業。
林本堅認為，學院自行募款、尋求企業支持，固然是應負的責任，但最基本的校舍整修與行政支援，仍是大學治理必須處理的工作。當學院已負責向外爭取資源，校內涉及建設、財務與行政的重大決策，也應及時到位。
面對林本堅的批評，高為元回應，校內相關會議上週已通過預算，將對整體工程進行提升；至於各項預算如何撥付，不適合在說明會現場逐筆說明。他也表示，知道半導體研究學院過去投入許多努力，校方未來將在能力範圍內，持續投入科技園及中華校區。
不過，6000萬元原始需求包含哪些工程、最初為何僅核給約2000萬元、工程共流標幾次，以及上週通過的新預算究竟增加多少、何時能正式動工，仍有待校方進一步說明。
浸潤式微影之父開砲 追問清大未來4年
林本堅的批評受到高度關注，也與他的產業資歷有關。他現任清大特聘研究講座教授、半導體研究學院院長，是中央研究院院士及美國國家工程學院院士，曾在IBM任職22年，2000年加入台積電，歷任研發副總經理及傑出科技院士。
2002年，林本堅在台積電推動浸潤式微影技術，以水取代曝光系統中鏡頭與晶圓之間的空氣，提高光學解析能力，使既有193奈米光源得以繼續支撐先進製程，被清大譽為「浸潤式微影之父」。他在台積電研發期間，參與推進多個製程世代，也是台積電早年知名的「研發六騎士」之一。
林本堅自台積電退休後，2016年進入清大任教，2021年出任半導體研究學院創院院長。因此，他10日從誠信、決策速度一路談到重大責任能否交付，不只是一般教授對校務的批評，也是曾長期管理大型研發團隊、面對高度競爭及重大投資決策的科技主管，對清大治理提出的公開質疑。
林本堅的批評指向三個層次：高為元的誠信是否仍能取得信任、第一任4年的決策方式是否妥當，以及同一套治理模式若延續下去，清大未來4年可能承擔什麼風險。
高為元今年5月1日才開始第二個4年任期。相較於高為元以捐薪回應爭議，林本堅追問的已不只是校長是否道歉、願意付出什麼代價，而是高為元的誠信、決策能力與治理方式，是否仍足以讓清華大學把下一個4年交給他。