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宏廣新技南科工啟動在地供應 半導體特殊氣體生產邁向ESG永續

桃園電子報

更新於 2023年10月31日08:37 • 發布於 2023年10月31日08:34 • 記者傅聖仁

半導體供應鏈中特殊氣體和化學品的領導廠-宏廣新技,位於南科的專業氣體純化分裝工廠,以及耗資1億元的高純化氣體奈米實驗室日(27日)前正式啟用,身為護國神山群的特殊氣體供應商,在BCP(Business Continuity Planning)要求下實現在地化供應,並期許成為第三方公證單位,提供高純化氣體和化學品之高端專業分析驗證,將為台灣的半導體特殊氣體化學品供應鏈,做出巨大貢獻。

半導體供應鏈中特殊氣體和化學品的領導廠-宏廣新技,日(27日)前南科新廠落成啟用典禮貴賓合影。圖:業者提供

日商神助攻,宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI),以及百年企業三井物產株式會社(MBK),這兩家日商企業入股後,不僅握有全球稀缺的原物料資源,藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術,並投資在南科工的新廠擴建,第一期廠區2,400坪,將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸,接著第二期2,600坪廠房,也將在年底啟用,作為特用氣體倉儲使用,以及製造氟碳類氣體產品,預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一,提供特殊氣體種類將超過8-9種以上,完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術,在地化短鏈供應。

立委陳亭妃委員在特殊氣體鋼瓶簽名,象徵啟用高純氣體實驗室和生產在地化供應。圖:業者提供

宏廣新技執行長張錫濱表示,COVID-19後及地緣政治因素帶給半導體供應鏈不能再依賴世界工廠,全球供應鏈都朝友岸工廠發展,各客戶近年也加速BCP要求,重要的原物料供應不能單靠單一國家,且要就近生產供應,宏廣南科廠宣示啟動在地化,提供高端特用純化技術,來服務台灣半導體產業,穩健邁向ESG永續經營。

宏廣新技南科廠落成啟用,國內外重要貴賓齊聚剪綵。圖:業者提供

張執行長指出,在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下,宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術,將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物,純化為半導體廠所需求的超高純CO2,超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質,因此氣體的純度會影響到整個製程的良率,目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機,宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2,用在7奈米製程,甚至是5奈米以下,高端製程愈精進發展,對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛!

張執行長自詡為半導體特殊氣體的領先企業,有信心、決心和專業高端技術,結合日本在原物料上的尖端研發,宏廣不只是提供產品也是技術的橋樑,感謝半導體客戶先進製程的要求,使宏廣不斷精進,未來台南成功營運模式將整廠輸出到日本、美國、德國,足見宏廣在半導體供應鏈上扮演著關鍵角色,期待與台灣半導體產業在全球佈局更上一層樓。

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