台積電神速擴廠幕後功臣！從水資源到零廢應用...「廠務國家隊」打造台灣半導體最強後盾

譚偉晟

圖片 譚偉晟拍攝 提供

「不是只有晶圓製造需要研發，蓋廠房的技術，也需要研發。」高科技廠房設施協會創辦人之一、臺灣大學土木工程學系教授張陸滿說的，是讓晶圓廠能持續運作的廠務系統，近年來隨著高科技廠的技術同步推進，「像是進入7、5奈米先進製程，水要多乾淨、廠區內震動要怎麼處理，這些都要研究。」

作為台灣廠務技術發展的重要推手之一，張陸滿與漢民集團副董事長許金榮、台積電營運暨廠務副總經理莊子壽三人，從2013年攜手驅使SEMI成立高科技廠房設施委員會誕生，並於2021年推動台灣高科技廠房設施協會成立，讓台積電、聯電等晶圓代工業者，能夠和設備、材料業者共同研發。

以台積、聯電為主要研究對象

許金榮指出，這當中減少廢棄物、往零廢發展，是「（成立高科技廠房設施委員會）一開始就有想做的。」張陸滿說明，廠務一方面要供應讓半導體產線使用，極高潔淨規格的水與化學品之外，也需要處理生產晶片後，產線產生的廢氣廢液。

張陸滿透露，廠務研發過去並沒有獲得足夠的重視，「2006年回來台灣後，我跟莊子壽都認為，要把高科技建廠的技術提升。」

這位曾經在1976年工研院與RCA合作的半導體計畫中，負責晶圓廠建設的核心人物，便與莊子壽兩人一同拜會許金榮，並連繫聯電、友達、群創、旺宏等多家業者，在SEMI國際半導體產業協會的支持下，成立專注廠務技術研發的高科技廠房設施委員會，「我們成立平台，研究台積電、聯電等業主，都會有的共同議題。」

從農用廢棄物轉製活性碳

這當中，就包含如何提升回收再製品的研究。張陸滿舉例，從半導體製程所需的超純水，當中會使用到的活性碳，台積電就有積極探索從農用廢棄物，轉製成過濾用活性碳的技術。

對於零廢技術的應用，莊子壽格外重視透過協會平台分享。「台積電團隊蠻常在協會上，講關於零廢的應用。」台灣高科技廠房設施協會理監事之一、創控科技董事長王禮鵬表示，不論是晶圓廠或供應商，在協會中的夥伴都很關注台積電分享的零廢進展，也會思考導入應用的可能性。

而去年十一月商轉至今的台積電中科零廢中心，則是廠務技術革新的一大指標，「海內外的專家學者來參訪，直說『太神奇了，怎麼能將循環經濟做到如此』。」莊子壽如此說道。

「當晶圓廠製成進入2奈米、1.4奈米，廠務也要跟著調整。」張陸滿指出，台灣近年磨練出來廠務實力，讓台積電即便遠赴美國建廠，仍以超高效率完成晶圓廠興建，並成功進入量產，「隔壁的英特爾相同時間動土，但現在台積電已經要蓋第三座（美國）廠了。」

從建廠到晶圓廠運作的持續升級，張陸滿強調如今台灣在廠務領域的發展，已在國際間展現實力。

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