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看不見的氣體精密監測 從中鋼做到台積電!半導體製程進入奈米化,創控乘勢崛起

財訊雙週刊

發布於 2024年06月06日02:24 • 財訊
▲創控董事長王禮鵬說,半導體對先進製程的需求愈大,AMC監測就更扮演關鍵角色。(圖/《財訊》雙週刊)

文/尚清林

您知道什麼是AMC嗎?即使台灣作為半導體王國,對於護國神山台積電多少都略知一二的情況,這個名詞對多數人來說可能仍然陌生。

根據《財訊》雙週刊報導,所謂AMC(Airborne Molecular Contamination),是氣體性分子汙染物的縮寫,在常溫常壓下以氣態形式存在空氣中,其含量雖未造成人身傷害,但對精密的半導體產業來說,卻足以造成影響之微量汙染物。簡單說,半導體製程中使用到大量的酸、鹼調配清潔或蝕刻溶液,光阻液則含有溶劑,揮發在空氣中,就容易導致晶圓片受到汙染。

創控董事長王禮鵬期望經過這一番科普之後,市場能夠了解創控在半導體產業中扮演的角色。他說,創控就是精密氣體監測設備研發製造商。在半導體各項製程日益精密、進入微型化奈米時代的趨勢下,AMC監測也日益受到重視。

跨領域 從生技轉半導體

「一開始,我並不是要做AMC監測,而是想投入生技領域開發呼吸道相關醫療器材。」王禮鵬回憶起創業的辛苦過程,他說,自2001年取得美國賓州州立大學工程科學博士,立刻投身於英特爾,負責他所擅長的微機電領域技術,在當時與AMC監測並無太多的連結。

7年之後,王禮鵬為了實現創業夢想離開英特爾。他說,那時候美國最熱門的議題就是biotech(生物科技),於是他與五位好友一同投入生技產業,從所學的微機電領域技術作為基礎,專注在呼吸道疾病檢測設備。在那時候,這項產品很難離開醫院,自然無法順利擴展,很快就燒光自有資金。直到回到台灣後,因為半導體聚落的關係,才又發現到AMC監測的新商機。

「其實,不是我跨領域,不管是生技氣體的監控,或科技領域環境氣體的監控,原理都與所學的機電領域技術有關聯性。」王禮鵬解釋,AMC監測並不是創控所發明,但過往的監測是以實驗室為主,而且主機非常的大,所以沒有適合的商業模式。為了能夠導入商業領域,監測技術及設備要更精準偵測、更即時,及體積縮小,這才是創控努力的方向。

《財訊》雙週刊指出,然而第一家找上創控的,其實是中鋼。由於中鋼需要掌控並及早防制空氣中的可能汙染成分,需要創控協助監控氣體,進行分析。

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