台積電老將林本堅：半導體發展沒有極限 線寬微縮已非主流
作者：財訊雙週刊／陳碧珠
2025年感恩節前夕，清華大學旺宏館湧進成群年輕學子。這一天是台積電「IMC Day」智造人才招募日，吸引大家的不只是護國神山招牌，還有現任清華大學半導體研究學院院長─林本堅。
業界熟悉的Burn（林本堅英文名），是帶動台積電技術一路領先的關鍵功臣。他於2000年加入台積電，當年以水為介質，提出「浸潤式微影技術 」（Immersion Lithography），讓台積電製程從65奈米一路微縮到7奈米，硬是將摩爾定律延長6個世代。
大功臣 台積電製程躍進
根據《財訊》雙週刊報導，在台積電15年間，他帶領的微影團隊從最初50多人一路擴編至上千人。現任台積電共同營運長米玉傑，更曾在內部戲稱自己是林本堅的「徒孫」，兩人不僅同為台大電機系校友，在IBM時期，米玉傑的主管，是林本堅延攬而來、須向他報告的成員，建立技術間接傳承的緣分。
從台積電退休已10年的林本堅，於2024年4月獲頒總統創新獎，「Morris（台積電創辦人張忠謀）還特地到場恭喜我，確實增添不少光彩。」他感謝地說。
年過8旬的他，除了仍固定在教會講道，更持續維持多年來的打網球習慣，為了避免利益衝突，還特地不與清大學生對打，跑到交大找研究生練球，這種自律與分際，正好貫穿台積電文化DNA。
曾借調台積電、現借調臻鼎擔任總經理的清大前執行副校長簡禎富，與林本堅相識超過25年。他告訴《財訊》，相當佩服林本堅對半導體產業的宏觀視野，以及人才培育上的全心投入，「即使受限於大學資源與制度，院長仍常主動與學校溝通，以實踐自己的理念。」
不過，這位摩爾定律的「續命者」告訴《財訊》，摩爾定律至2025年已滿50年，半世紀以來，一路帶動電腦、智慧手機、AI等各式新科技不斷普及。然而，半導體能如此蓬勃發展，是除了摩爾定律，還有全球自由市場進化下的分工結果，「這絕對不是單一國家能獨力完成。」
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