英特爾已測試涉中晶片設備　外界憂可能用於先進製程

（路透華盛頓/舊金山12日電）兩位知情人士透露，英特爾今年已測試半導體設備商ACM Research的晶片生產設備，該企業不僅在中國有深厚根基，旗下兩間海外子公司也遭到美國制裁，引發可能危害美國國安的憂慮。

ACM Research總部位於美國加州佛利蒙特（Fremont），旗下兩間位於上海及韓國的子公司去年被美國政府列入禁止接收美國技術的名單，理由是協助中國當局將商用技術用於軍事發展，以及生產先進晶片或晶片製造設備。ACM Research均否認這些指控。

這兩部「濕蝕刻設備」的用途為去除矽晶圓表面上的材料，被英特爾（Intel）拿來評估是否可用於其最先進晶片製程14A。這項製程預計2027年開始投產。

路透無法證實，英特爾是否已決定將這些設備用於先進晶片製程，也沒有證據顯示英特爾違反任何美國相關法規。

ACM Research回應，公司無法針對「與特定客戶的合作」置評，但能證實旗下「美國團隊已自亞洲營運據點銷售並交付多種設備給國內客戶」。

ACM Research還提到，已向一間「美國半導體製造大廠」交付3台設備，目前正進行測試，部分已確認符合性能標準。

然而，美國對中強硬派人士指出，英特爾考慮在先進製程產線使用子公司遭美國制裁的企業所製造的設備，引發重大國安疑慮。英特爾現在已由美國政府部分持股。

他們指出，這恐會導致英特爾敏感技術外流至中國，可信賴的西方設備供應商最終遭中國相關企業取代，甚至可能讓北京有機可乘進行破壞。中央社（翻譯）