《奇鼎專訪一》半導體環控設備的節能規劃師
MoneyDJ新聞 2026-03-20 11:07:24 王怡茹 發佈
隨著半導體先進製程不斷向前推進，對於製程環境及良率的嚴苛度與日俱增，生產環境中的溫度、溼度、氣體分子等因素都需要高標準的監控。奇鼎科技(6849)是國內少數具備自製半導體環境監控設備的廠商，董事長鄭智文(圖)認為，公司能提供全面性的解決方案，就像是一個專業的「節能規劃師」，不僅要降低高精密製程所面臨的污染風險，同時也要協助客戶達到節能效果。
奇鼎科技成立於2003年，早年以無塵室工程起家，後續聚焦在半導體製程微環境控制，以可控制溫度到攝氏正負0.001度與擁有獨家氣態分子汙染物 (AMC)去除能力，成功協助晶圓代工客戶穩定製程設備、提高良率與產能，也在國內先進封裝製程佔有一關鍵地位。
談到公司的產品，鄭智文用比較生活化的方式來說明：「環境控制大致可以分成兩種：一種像大金冷氣，讓人感到舒適，控制溫度與濕度；另一種像戴森的過濾設備，能有效過濾灰塵與 PM2.5。」在半導體環境中，這些功能需要更高的精度，不只是溫度控制，還包括對灰塵、酸鹼與有害物質的精密控制，只是目的不是保護人，而是保護機器。
鄭智文過去帶領著團隊成功研發出第一台國產精密溫濕度控制機組。他回憶，當時溫溼度控制設備的契機，是在某年看到一台曝光機因為被灑水頭淋到而損壞，需要賠償。團隊跟著客戶進入機台內部查看，發現有一台用來做環境中的溫度與濕度控制的設備，但單價非常高，而那台設備是安裝在日商曝光機旁邊，因此種下了這個想法。
AMC設備部分，鄭智文指出，當時外商主要是賣儀器，並沒有提供完整的機台整合、自動化或快速數據分析的解決方案。一般而言，傳統實驗室分析一筆數據大約需要五到六個小時，但對製程來說，這樣的時間可能已經造成上千片晶圓的損失。因此，必須在半小時、甚至 20 分鐘或 15 分鐘內得到答案。
鄭智文認為，這個領域的關鍵在於「沒有人做」，雖然當時看起來很冷門，但如果要切入設備產業，這是一個可以避開既有競爭、走出自己路線的機會。且隨著製程精度會越來越高，控制的點也會越來越精準，因此需要更高的控制能力與精度，目前看來當初的決定這是一個正確的發展方向。
同時，奇鼎科技相當重視幫客戶做節能。鄭智文表示，公司可以說是一個很厲害的節能規劃者，能針對客戶的設備、無塵室的製程環境，提供合適的解決方案，並進一步將其落實成設備。除了協助建構廠務與製造環境之外，也能幫助客戶達到節能效果，同時可以累積公司資源，讓後續研發能持續有資金投入。
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資料來源-MoneyDJ理財網