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中國翻新ASML舊製程機台產製先進晶片 「舊瓶釀新酒」凸顯西方管控缺漏

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更新於 2025年12月26日12:05 • 發布於 2025年12月19日07:34 • 王能斌
中國晶片廠利用改良舊機台的方式,達成生產更為先進晶片的目標,顯示出以美國為首的晶片管控手段仍然存在疏漏,圖為中國山東一座半導體產線運作情形。(資料照片/美聯社)

為了爭奪在人工智慧(AI)等科技領域的領導地位,美中之間的晶片戰持續加劇,華府為了避免先進晶片被用於軍事技術發展,更聯合包括荷蘭、日本等盟友協調祭出管控與限制,然而近期傳出中國科技產業透過翻新艾司摩爾舊製程機台,已打造出可產製先進晶片的機具,此種「舊瓶釀新酒」的手法,似乎凸顯西方管控策略百密仍有一疏。

金融時報(FT)指出,由於美國與荷蘭祭出嚴格管控手段,阻止荷蘭設備商艾司摩爾(ASML)向中國輸出旗下最先進的深紫外光曝光機(deep ultraviolet lithography, DUV),因此許多中國晶片製造商只能依賴手中最先進的「Twinscan NXT:1980i」機台苦撐,生產7奈米等級效能的晶片。

對舊機台進行升級與改良 中國晶片廠打造產製更先進晶片能力

報導表示在產業界的實踐之中,「奈米」(nanometres)的稱法,目前較常用以形容晶片技術的世代,而非實際上的尺寸,熟知情形的人士則指出,中國製造商目前已經利用翻新以及改良的方式,有效提升了艾司摩爾先進深紫外光曝光機的性能。

知情人士表示,中國晶圓廠透過在二手市場,獲取包括在產製過程中扮演關鍵角色的晶圓平台(stage),以及透鏡、感測元件等,能夠確保並且提升晶片層疊精準程度的零件,達成產出較現有產品更先進晶片的目標,同時也能夠提升晶片產量。

設備商嚴守限制 中國公司另尋它法

因此,報導表示前述方式,凸顯出中國晶片業者為了克服造成技術障礙的出口管制,正無所不用其極的情形;雖然ASML在限制之下,仍然可以向中國客戶提供工程支援(engineering support),但是針對DUV機台的層疊(overlay)以及定位精度能力的升級,存在嚴格限制,無法進行任何能夠讓機台產能提升超過1%的更動。

這樣的限制,讓中國晶片業者利用「多重曝光」(multi-pattering)的方式,試圖產出先進晶片,不過如此一來,生產晶片不僅更加費時,良率也會隨之降低,但知情人士指出,透過零件的升級,晶圓廠能夠緩解過程之中的部分瓶頸,提高產能並且降低成本。分析機構TechInsights本月稍早曾表示,中國晶片製造商「中芯國際」(SMIC)鑽研多重曝光技術取得突破,已能夠超越7奈米製程限制,且華為(Huawei)手機搭仔的最新款「麒麟9030」(Kirin 9030)晶片,更展示出中國迄今為止最先進的晶片製造能力。

對此,TechInsights策略長Dan Kim認為,中國晶圓廠在不具備如同台積電(TSMC)以及三星(Samsung)一般先進設備的情況之下,已經取得了令人矚目的成就。

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