中研院打造量子晶片 啟用首座研發與測試平台

記者黃朝琴／綜合報導

中央研究院今（10）日發表量子電腦晶片製程科學研發成果，不僅成功以8吋晶圓機台製作高品質超導量子位元，也揭牌國內首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台，達成國內量子晶片研發重要里程碑。　

中研院院長廖俊智表示，上述兩項量子設施將開放全國學研界合作使用，盼藉由資源整合與平台共享效益，推動我國量子科技發展，吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域研究。

中研院團隊過去3年主導量子電腦相關研究計畫，除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。

中研院今天為「量子晶片製程研發平台」揭牌，這是國內首座專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發。

中研院關鍵議題研究中心量子電腦專題中心執行長陳啟東說明，隨著量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格。我國雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片的製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡為當前量子電腦面臨的關鍵挑戰。

陳啟東提到，中研院團隊與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元的新式製程。這次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平台，達成國內量子晶片研發的重要里程碑。團隊也將持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標。

關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度。未來也將開放具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。