美禁令使中國長江存儲擴產幻滅，本土設備商北方華創遭砍單 70%

《南華早報》報導，中國 NAND Flash 快閃記憶體大廠長江存儲近幾個月大幅削減半導體生產設備訂單，中國半導體設備大廠北方華創訂單就遭大砍 70%，反映出長江存儲擴產計畫大受阻。

2022 年 10 月，美國政府公布中國半導體出口管制新規定，禁止美國設備廠商向中國晶片製造商出口 16 / 14 奈米以下非平面電晶體結構邏輯晶片、18 奈米製程或更小製程的 DRAM 記憶體、128 層堆疊以上 NAND Flash 快閃記憶體的半導體設備，扼殺長江存儲發展 128 層堆疊以上 NAND Flash 企圖。2022 年 12 月又將長江存儲列入限制出口的實體清單，更使長江存儲 128 層堆疊以下 NAND Flash 的美系半導體設備採購也受限制。

應用材料、柯林研發及科磊三大美國半導體設備廠商有強大技術優勢及市場地位，長江存儲無法取得美系半導體設備，擴產計畫及產線維護都大受影響。之前消息為長江存儲近期宣布裁員，比例約 15%。

1 月底市場消息顯示，設備供應鏈中斷，長江存儲可能延後武漢第二家晶圓廠工程。雖然長江存儲並不缺微影曝光設備，因美國實施限制前就買了數台設備。挑戰在 NAND Flash 堆疊層數越多，製造過程就需更多蝕刻設備，科林研發等設備是關鍵，無法取得設備就無法量產。

從全球蝕刻設備市占率看，科林研發、東京電子和應用材料合計拿下 90% 以上市場，科林研發占 52%，東京電子與應用材料分別為 20% 和 19%。從長江存儲採購分析，科林研發占一半以上採購量。中國中微拿下 50 台 CCP 等離子體蝕刻機，屹唐半導體也出貨 13 台 ICP 等離子體蝕刻機。北方華創有 24 台 ICP 等離子體蝕刻機出貨，北方華創出貨 2 台清洗設備。

雖近年長江存儲增加採購中國產蝕刻設備，但只用於非關鍵層蝕刻流程。關鍵層蝕刻還是得要科林研發設備。2022 年 10 月美國出口限制新規定，導致採購 128 層堆疊以上 NAND Flash 美系設備受阻，長江存儲當時也只增加東京電子蝕刻設備採購，而非買中國產蝕刻設備。

美國已與兩大半導體設備強國日本和荷蘭達成中國半導體出口管制協議。雖然日本和荷蘭尚未提供細節，但會與美國 2022 年 10 月中國半導體出口管制新規定一樣，代表長江存儲等中國半導體製造商若想從日本、荷蘭取得設備組建非美系產線，繞過美國制裁也會受阻。加上中國產設備無法取代外國產品，長江存儲擴產計畫也無法繼續，現有產線運作之後也可能受影響，使長江存儲暫停擴產計畫，衝擊中國產設備採購大幅減少。

(首圖來源：長江存儲)