美日先進供應鏈聚台 台積打造「晶片米其林」
〔記者洪友芳／新竹報導〕全球最大光阻液及研磨液大廠日商JSR株式會社與設備大廠美商應材共同成立「先進製程平坦化解決方案聯合研究中心」，十五日舉行啟用典禮。台積電研發副總經理章勳明妙喻，米其林大廚需要結合高級廚具與良好食材，才能做出米其林等級料理，台積電就像是大廚，應材與JSR就近設立研究中心，三者完美配合，台積電就能在台灣做出如同米其林等級的晶片。
章勳明指出，在半導體製程中，應材提供化學機械研磨(CMP)關鍵設備，JSR則提供研磨液，兩大廠商都是台積電未來加速先進製程進程的重要供應商；AI(人工智慧)快速發展時代，先進晶片需求越來越高、技術挑戰也越來越大，要求十二吋晶圓磨完CMP之後，表面平坦度必須控制在一奈米以內，有如一座棒球場地面凹凸起伏，必須小於一根頭髮的厚度，這工程難度正是現今先進製程的基本要求。
先進製程首選 台積深耕台灣
他強調，台積電將與應材和JSR，在設備、研磨液及材料更加緊密合作，這不僅代表跨國與跨企業合作重要性，也顯示國際大廠持續來台發展半導體技術的趨勢更加明顯，與台積電深耕台灣決心。他非常期待很快能看到三方成果，實際應用在台積電最先進的晶片上，讓大家的手機與電腦效能更好，也讓全球AI加速發展。
章勳明笑說，從〇．一三微米到進入奈米等級，應材一直是台積電在CMP領域非常關鍵的設備夥伴，且持續以先進技術支持台積電製程往前推進；CMP技術的開發過程中，台積電也很早就與JSR展開合作，曾經共同開發新一代研磨液，尤其在銅製程上的突破，讓團隊在二〇〇五年獲得台積電第一屆創新改革獎，「他記得那獎金蠻高的」。