【產業前鋒】搭台積電全球擴產順風車　廢水與廢液回收廠拚出海

地緣政治緊張讓各國紛紛視半導體產業為重要戰略物資，並爭相發展。本刊調查，在環保意識抬頭下，半導體廢水再生與廢液回收業務，隨著先進製程的演進，複雜度不斷提高，逐漸走向客製化。同時間，由台積電掀起的海外擴廠潮，讓包括朋億、信紘科、兆聯等環保夥伴，搶搭順風車一起出海；此外，像是化工的三福化、廠務設備的帆宣，以及面板廠友達旗下的友達宇沛也不落人後，爭當護國神山ESG推手，分食綠色商機。

被譽為台灣「護國神山」的台積電，自2021年前往美國亞利桑那州（Arizona）首府鳳凰城（Phoenix）設廠後，經過與美國商務部（DOC）不斷溝通，今年4月終於獲得66億美元（約新台幣2,150億元）補助；台積電因此宣布加碼在美國興建三廠，預估總投資金額將超過650億美元（約新台幣2.1兆元）。此外，台積電的日本熊本廠，也獲日本政府支持，今年2月宣布將興建二廠，海外擴廠正如火如荼展開。

兆聯華漢　再生水老戰友

特別的是，台積電在逾千字獲美國補助的新聞稿文末提到「TSMC Arizona的晶圓廠以相同的全球願景設計和建造，目標實現90％的水回收率；TSMC Arizona已就達到『近零液體排放』的目標進行工業用再生水廠的設計階段，讓幾乎每一滴水都能於廠內再被利用。」慎重宣示水資源永續管理目標。

為何特別提到廢水回收？本刊調查，這與近年來全球掀起的ESG（環境、社會和公司治理）浪潮息息相關，新聞稿背後也帶起了一連串的龐大商機，甚至帶動台積電環保供應鏈業者一起出海，爭搶全球綠色商機。「台積電一直以來，都相當重視水資源風險管理，亞利桑那州是沙漠區，理當採用這樣的管理策略以解決缺水挑戰。」DIGITIMES分析師余佩儒向本刊分析。

「多年來，台積電已養出兆聯、華漢等製程用再生水回收好幫手，這些協力廠對施工、不同化學品所需的管線材質十分熟悉，與台積電關係非常緊密。」山林水總經理吳人傑向本刊提出他的觀察，並進一步指出，以處理民生廢水回收為主的山林水，標下高雄楠梓再生水廠BTO案後，預計2028年透過南科管理局轉供給台積電利用。

「不過，我們（山林水）的民生廢水回收後，若要進入晶圓製程使用，還得經過數十道程序；此時，就得借重製程用水系統廠商來處理。」吳人傑一邊描述半導體再生水的利用流程，一邊點出兆聯等製程用再生水回收業者的重要性。

吳人傑認為，台積電海外大擴廠，這類業者（系統廠）因在建廠之初就導入施作，自然容易跟著把服務整廠輸出到海外，成為台積電海外建廠受益者。

信紘跟進　赴日設辦事處

除了兆聯，余佩儒也點名，信紘科、友達旗下的友達宇沛，也正從既有廠務衍生新事業卡位再生水處理服務。

業界人士指出，一般工業用水可區分前段的超純水、中段製程的回收水、末段的廢水處理，而半導體從鋁製程、銅製程發展到最先進的鈷製程，在中段製程的回收難度大幅拉高。為了協助客戶，廠務設備起家的信紘科，早從2012年就與台積電展開合作，透過二氧化碳與氨氣等機能水清洗設備的開發，取代過去有危害物質如N-甲基吡咯烷酮（NMP）的清洗方式，並取得台積電認證，今年也隨之一起在日本設置辦事處，滿足客戶綠色製程需求。

除水資源利用，先進製程產生的化學廢棄物量較以往大增1.5至2倍，在環保法規越趨嚴格下，也成了廠商眼中一門「回收」好生意。

「半導體濕製程需要的化學品上百種，其中液體高達九成，像是顯影劑用的四甲基氫氧化銨（TMAH）等有機溶劑，可透過回收技術（蒸餾）與特殊回收設備處理，且在達到一定純度後進行轉售。隨著碳稅正式上路，也增強業者投資回收技術與設備的誘因。」日商瑞環業務總監三宅光向本刊表示。

朋億客製　助達循環經濟

「早期，這些廢液幾乎直接混和焚燒，但先進製程化合物複雜又多，燒掉排放的有毒氣體，對環境更不利；然而，要回收再利用，一定要分流，卻也提高了處理難度。回收門檻提高，服務也將轉向客製，此時，本土供應商的配合度高，比外商有在地優勢。」朋億技術總監黃逸雲向本刊分析。

「我們透過特殊再生設備，把廢液轉化成原製程所需的高單價原料，協助客戶做到100％回到源頭利用。」談起自家的廢液回收技術，黃逸雲向本刊分享並強調，目前提供半導體廢液回收的業者，多半是蒐集後降級轉售居多；然而，唯有回到源頭使用，才是真正的循環經濟。

黃逸雲回想，朋億的業務以化學品系統與CMP研磨液供應系統等建置為主，約莫2008年，以剝離液回收系統為主的日商瑞環渡海來台插旗，並尋找在地系統廠合作，透過瀚宇彩晶引介，雙方一拍即合，成為朋億跨足廢液回收的開端，2009年公司納入無塵室大廠聖暉旗下，整合後進一步擴大客戶與市場。

朋億業務總監鍾杏如補充，十多年前，科技廠環保意識並不高，但朋億覺得這項業務將日漸重要，便從化學品系統到廢液再利用建置一條龍服務；雖然，廢液回收營收占比僅個位數，隨著ESG趨勢成形，未打入台積電供應鏈的朋億，卻因此引起護國神山注意。

「半導體廠需大量清洗用的異丙醇（IPA），每年光焚化費用就要5千萬元，透過我們與朋億提供的解決方案，可讓客戶節省採購新液成本，還能減少碳排。」三宅光以數據佐證回收效益。

綠色商機　台積電帶頭旺

「瑞環的強項是蒸餾，我們則把蒸餾後的回收品，透過純化、調和提煉到最高純度。」黃逸雲興奮地透露，今年3月，台積電主動邀請朋億到新竹分享這項獨門技術。

對此，鍾杏如樂觀表示：「台積電推動ESG在業界是領頭羊，只要他們願意認證，導入我們的回收液回到製程使用，相信其他半導體廠就會跟進。」

展望未來，半導體產業分析師指出，半導體業者為了滿足蘋果（Apple）等客戶的要求，正積極朝綠色製程開發新解方，台積電的淨零液體排放目標，正衍生製程機能水系統、製程特殊廢液處理、再生水處理等新業態，是未來具潛力的新綠色商機。

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