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《造光者》曝台積電、艾司摩爾38年前合作淵源 張忠謀嚴苛要求這件事!

太報

更新於 2025年09月12日15:47 • 發布於 2025年09月12日23:10 • 戴嘉芬
台積電與艾司摩爾的合作起源於1987年,如今,2家公司已成為最佳合作夥伴,彼此依賴、一起成長。太報繪製

描述荷蘭半導體巨擘艾司摩爾(ASML)崛起故事的《造光者; Focus: The ASML Way》一書近日出版。作者馬克.海因克(Marc Hijink)在書中揭露38年前,艾司摩爾與台積電開啟合作因緣的秘辛,張忠謀為甚麼答應用艾司摩爾的機台?2家公司如何相互扶持,一起成長。本文帶讀者一一了解。

《造光者》作者馬克.海因克本週來台參與SEMICON半導體展論壇,也為中文版新書做宣傳。戴嘉芬攝

馬克在《造光者》第一部〈好構想,爛計畫〉章節中寫道,1970年代後期,隨著Sony、JVC、TOSHIBA等日本企業崛起,位於荷蘭的飛利浦因營業額太過依賴消費性電子產品,大刀闊斧精簡組織,打算把成本高昂的部門分拆出去,成立合資企業,再逐步出售這些事業的股份;而出自NatLab(飛利浦物理實驗室)的曝光機部門就是首波被鎖定的對象。

ASML從飛利浦曝光機部門獨立出來!

當時,飛利浦科學與工業部門副總維姆.特羅斯是主要推手,他看出曝光機技術的潛力,在荷蘭經濟部的促成下,與ASM(先藝)合作,雙方各出資750萬荷蘭盾(約目前台幣1.33億元),各自取得合資子公司50%股份,新公司名為「先進半導體材料微影;Advanced Semiconductor Materials Lithography」,公司成立初期原以ALS為縮寫,後來發現此縮寫與「漸凍症」同名,改為ASM微影,1996年正式更名為ASML,沿用至今。

張忠謀為台積電籌資 找上飛利浦

1987年,張忠謀正在籌資成立台積電,找上了飛利浦。馬克在書中寫道,彼時,張忠謀正在尋找一個來自產業界、有經驗的大型投資者。日本方面興趣缺缺,與英特爾、德儀的協商都破局了。「在他眼中,飛利浦是二線晶片製造商中的佼佼者,這個評價算不上恭維,但飛利浦確實是僅次於理想選項的最佳選擇。」

後來,飛利浦取得台積電28%股權,也提供相關技術授權。這個合作關係為台積電與艾司摩爾之間開啟了大門。不過,張忠謀並未立即同意,他需要先確認設備的品質。

一通電話開啟台積電、艾司摩爾合作大門!

那時,參與ASML草創的執行長特羅斯即將退休!馬克在書中寫道,在此關鍵時刻,特羅斯正與妻子在峇里島度假。當他在觀賞舞蹈表演時,有人輕拍肩膀對他說:「先生,有您的電話」。那通電話來自ASML總部維荷芬,特羅斯在電話中告訴張忠謀,艾司摩爾願意免費提供第一個機台,給台積電試用,「不成功就不收費!」張忠謀爽快答應了。

那批來自台灣的訂單,讓ASML得以度過草創期。1988年,首批訂單意外出現後續發展;台積電晶圓廠發生大火!數十台機台嚴重受損。ASML必須立刻再交付另一批機台,而所有費用由保險公司承擔。

ASML:我們挺他們,他們也挺我們!

「接下來的歲月裡,台積電在張忠謀領導下,成為全球最先進的晶片製造商。」而台積電與ASML的合作關係也日益深厚,台灣的晶片產業開始蓬勃發展。這兩家公司意外地志同道合,彼此完全依賴對方,一起追求每小時不斷產出無瑕疵晶圓的目標。「我們挺他們,他們也挺我們!」這句話成為ASML員工的座右銘,也成為主宰晶片市場的秘密公式。

張忠謀:沒人用過ASML曝光機!台積電是小公司必須冒險

張忠謀也在《自傳》下冊中寫道,台積電晶圓二廠在1990年開始運作,從此開啟了「咆哮九〇年代」。使台積電能夠咆哮的原因之一,是二廠的創新,其中包括兩個相當重要創新式的決定,首先是決定啟用矽谷Asyst公司發明的SMIF(袖珍潔淨箱);台積電二廠是世界上第一家在量產環境內使用SMIF的工廠;之後半導體同業也陸續採用。

第二個決定是採用艾司摩爾的曝光機,這種曝光機在晶圓生產線上,是所有設備中最昂貴的。而在那個年代,「日本Nikon、佳能幾乎佔有全世界曝光機市場。」張寫道,「艾司摩爾卻是一家新公司。巧合的是,它和台積電一樣,也是飛利浦投資的公司。」

當時,ASML將試用機台交給台積電後,由總經理魏謀和曾繁城詳細研究,他們認為艾司摩爾機器確有技術優點。但唯一的問題是「沒人用過艾司摩爾的曝光機,台積電會是第一家!」。

張忠謀認為,「小公司如要追上大公司,必須要在對的地方做大公司不願或不敢做的事,也就是必須要冒險,包括採用SMIF和ASML機台皆是如此」。後來證明他確實賭對了。

「此後三十幾年,艾司摩爾一直是台積電最主要且最重要的曝光機供應商;同時,艾司摩爾的技術也一直領先佳能與Nikon。」張寫道,台積電與艾司摩爾幾乎同時誕生,一起成長,一直都以夥伴關係相處。

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