阿斯麥供應商：中國造出成熟EUV光刻機仍需15年
（德國之聲中文網）蔡司半導體部門負責人羅蒙德（Frank Rohmund）接受彭博社訪問時說，中國可能需要15年才能研發出極紫外光（EUV）光刻機，這是一個“合理的估計”，但他補充說，由於相關技術進展難以量化，目前很難准確判斷中國的實際水平。
阿斯麥是世界上唯一一家能夠商業化生產EUV光刻機的廠商，蔡司是阿斯麥EUV光刻機所用光學系統的獨家供應商。在美國推動的出口管制下，荷蘭政府限制阿斯麥向中國市場出口EUV光刻機，也收緊了部分技術要求相對較低的浸潤式DUV光刻機設備的出口。
羅蒙德認為，如果出口管制進一步擴大至較舊的DUV光刻機，將不利於企業經營。他說：“我們不認為這些出口限制會產生積極影響，因為這反而會加速中國的創新。”
中國在生產浸沒式DUV光刻設備方面已取得進展。科技媒體The Information今年7月引述知情人士報道，上海一家企業已開始制造自主研發的浸沒式DUV光刻機，但設備性能及量產可靠性仍有待驗證。
羅蒙德說，中國已投入數十年研發相關技術，因此近期有關技術突破的報道“並不令人意外”。他說：“接下來，我們須觀察這些設備的實際性能究竟如何。”但他強調：“我們仍然遙遙領先。”
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