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台積投入CFET 宜特、閎康 跟著一哥布局

經濟日報

更新於 07月02日02:05 • 發布於 07月01日17:19
經濟日報

互補式場效電晶體(CFET)是讓半導體製造邁入更先進世代製程技術的關鍵,台積電(2330)積極投入研發之餘,由於電晶體結構更複雜,需要更強大的周邊支援,驗證分析廠宜特洞燭機先,將與台積電一起大咬CFET帶來的大商機,半導體檢測廠閎康也有望沾光。

宜特積極投入先進製程驗證領域,已啟動次2奈米世代原子層沉積(ALD)新材料選材與驗證服務,進一步延伸至化學材料端的選材、鍍膜測試與品質確認。

業界人士提到,不論是目前的奈米或更先進的埃米世代,傳統沉積方式已達物理極限,接下來都必須採用ALD沉積方式。尤其是埃米等級,不可能運用傳統的化學氣相沉積(CVD)與物理氣相沉積(PVD)方式鍍膜。

目前業界ALD於製程段可用於製造高介電薄膜及相關先進電晶體。宜特的ALD相關服務強調是從材料選擇、鍍膜製程、薄膜分析、製程驗證等,協助晶圓代工廠顧及品質,還有協助材料廠將新材料快速合規化。

閎康方面,據了解,該公司已有承接CFET相關案件的合作經驗。未來當先進製程晶圓廠客戶陸續將相關測試樣品交由其檢測,該公司可以依照客戶需求予以協助。

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