跟進台積電 三星晶圓代工也不急著用 High-NA EUV 量產
在台積電（2330）主管群先前多次公開表明不急著用High-NA EUV量產，而是先作為研發工具，三星（Samsung）晶圓代工近期在技術論壇更新資訊，也表達相同看法，並說High-NA EUV微影設備面臨的最大問題是使用成本遠高於現有的EUV設備，並預估最快2030年才會導入量產。
依據三星晶圓代工更新資訊顯示，首次預估將在2030年左右將轉向1奈米級的製程節點，首次導入High-NA EUV技術，相比過去流傳的2nm和1.4nm製程節點要更晚一些。除了第一代SF1.4，三星也將帶來增強版的SF1.4+，與基於1nm製程節點的新製程共存。
三星晶圓代工主管也指出，雖然三星使用High-NA EUV設備進行研究已經超過一年，但並不急於應用到生產中，表示該技術仍需進一步改進。