台積電化學品廢液再利用 年減碳有望逾3萬公噸
記者高兆麟／台北報導
台積電致力建立綠色循環體系，透過「電子級化學品回收計畫」成功再生異丙醇、四甲基氫氧化銨及環戊酮等化學品重回廠內使用。民國114年進一步針對黃光製程中廣泛應用的有機溶劑丙二醇甲醚及丙二醇甲醚醋酸酯，與供應商合作開發廢液再利用技術，運用「源頭分流管理、製程參數優化、成分圖譜比對」三大作業流程，將廢液再製為符合台積公司品質規格的電子級PGME／PGMEA；民國115年1月於晶圓十五B廠及晶圓十八A廠驗證成功，並將於第2季導入晶圓十四B廠、晶圓十五A廠、晶圓十五B廠、晶圓十八A廠、晶圓十八B廠使用，預計全面推行後可年減新液採購量1萬6,000公噸、減碳3萬1,100公噸，實現搖籃到搖籃的資源循環價值。
PGME／PGMEA主要應用於半導體黃光製程，通常做為混合溶劑共同使用，包含晶片清洗、光阻稀釋及設備清潔，以往使用後的廢液經初步水分與固形物分離處理後，多被轉售至塗料、油墨與紡織品等工業級市場。隨著先進製程推進，PGME／PGMEA需求量持續增加，台積公司攜手供應商積極投入廢液回收再生技術與流程優化，打造化學品循環再利用模式。首先，針對廢液中不同溶劑的沸點差異可能影響回收分離效率及電子級物料純度的挑戰，台積公司與供應商合作建立廢液源頭管理機制，精確分流不同純度液體；其次，透過調控蒸餾塔製程參數，有效去除有機雜質與金屬離子，確保高純度回收原料，進一步提升酯化反應良率。此外，為使再生的PGME／PGMEA符合電子級標準，供應商須於出貨前進行有機成分圖譜比對，確保其性能及可靠度滿足半導體製程需求，達到產品品質與製造穩定的雙重保障。
台積電秉持「綠色力量的執行者」理念，積極響應聯合國第12項永續發展目標─責任消費與生產，持續與供應商合作開發不同化學品廢液純化技術；除PGME／PGMEA外，亦針對醋酸正丁酯（n-Butyl Acetate, NBAC）與氫氟酸（Hydrofluoric Acid, HF）進行回用可行性評估，以期實現廢液高效回收與電子級再生材料量產化，為永續製造樹立新標竿。