台積電股東會／台積不看好最新 EUV？魏哲家：已購買研發、朝量產邁進
台積電（2330）今日召開股東會上，有股東關切台積電投入下一代High-NA EUV（高數值孔徑極紫外光）微影設備的情況，憂心不投入會影響競爭力。對此，台積電董事長魏哲家回應表示，外界誤解台積電沒有投資High-NA設備，事實上公司不僅已經採購設備，也正積極進行相關研發工作，現階段雖尚未導入量產，後續待成本下降將會導入量產。
外界預期High-NA EUV將先進製程後續推進的關鍵，台積電、英特爾與三星以及記憶體大廠皆已先後採購，不過，導入量產時間表不同。魏哲家今日回應股東提問做上述表示，他也說，有買，但不方便說買幾架設備。
魏哲家也強調，台積電並非不投資High-NA，而是持續進行相關研發與設備布局，「我們有買，而且正努力做各種研發。」