迎戰先進製程EUV強大需求！半導體國家隊家登備好產能，預計營收表現上看6成
作為護國神山台積電先進製程供應鏈的重要一環，家登主要產品有光罩傳載類、晶圓傳載類、機台設備類，並以EUV光罩盒的技術，成為了半導體國家隊的一員。目前扎根台南科技園區，樹谷廠也已擴廠完畢，將能提供比2020年更多產能，同時為滿足客戶需求，也斥資4.8億元新台幣於土城購地，預計將於農曆年後動工。
董事長邱銘乾表示，目前家登除了先進製程的EUV載具產能可滿足全球先進製程客戶的需求外，DUV供貨亦沒有問題；加上成功切入中國市場八吋及十二吋市場，且鑒於目前中國八吋廠光罩及晶圓載具（Wafer Pod/Cassette）需求強勁，中國半導體客戶訂單能見度可以到今年第二季。整體而言2021年度EUV、DUV、晶圓載具三箭齊發，第一季訂單能見度佳，「我們樂觀看到今年的整體營運，」邱銘乾說。
回憶起20多年前來到台南發展的背景，邱銘乾笑說那時的南科都還是甘蔗田，雖然生活機能上相對不方便，但這正是他認為相比竹科、中科，南科未來的發展還有很大機會的主因；「感謝當時台南市長賴清德的遠見，」邱銘乾有感而發的說，因為現在家登立足的這塊土地，過去曾是另一個大型企業物色的目標，有賴於賴清德的的幫忙，才讓家登能在這邊發展技術，從做傳統模具切入到半導體供應鏈，「也要感謝台積電成為全球半導體代工的龍頭，才能讓家登成為其中的一個小螺絲釘，」他說。
EUV光罩盒今年有望業績佔營收6成
目前家登的主要業務包括光罩傳載、晶圓傳載、機台設備以及其他相關的服務，而EUV的業務在2020年的表現佔整體營收約一半左右，預計今年的表現將能上看6成，主要還是拜全球半導體大廠在先進製程技術上的推進所賜；至於傳輸盒的部分，目前月產能則可上看8,000-10,000顆左右。
就以打進全球唯一能製造EUV機台的艾司摩爾（ASML）的EUV光罩盒來看，根據艾司摩爾的表示，到去年年底已經出貨了100台的EUV（極紫外光）機台，而今年出貨數至少達40台，更是推動全球三大半導體廠的Wafer（晶圓）出片量。
家登的EUV光罩盒之所以有其重要性，除了是市場上競爭對手僅英特格外，也因為到了先進製程後需採用EUV技術，而EUV的波長太短，現無光學材料可以折射EUV，因此光學系統設計就必須以反射式進行，包括光罩本身也是反射式。
製程越先進，對光罩盒需求也將更多
光罩基材必須是超低熱膨脹係數材料，並且光罩表面平坦度（Ra）必須小於5個奈米（<5nm），由於光罩材料和製作是屬於高難度，所以估計一片量產的EUV光罩至少15萬美元（約合新台幣450萬元）起跳。由於EUV光罩屬高單價產品，且無法貼上傳統的保護膜（Pellicle）來防止微粒的污染，因此一定要透過特殊設計的光罩盒保護。EUVL光罩載具包含內盒和外盒，內盒可以代替光罩保護膜，防止微粒污染。
而家登可以說是台積電光罩盒的主要供應者，近期也積極打入另一個採用EUV技術的半導體業者：三星，若順利打進，對家登的營運來說可算是相當有助益；此外，當先進製程逐步往下走的同時，對於EUV的使用將會越來越多，目前7奈米約是5層（Layer）、5奈米為12-14層，到了3奈米更可能要用到26層左右，使用的頻次增加也會提高對光罩盒的需求量，這也是為什麼家登仍認為單就光罩盒的產能依舊吃緊的緣故。
另外，光罩盒對於晶圓廠來說也是另一種消耗品，預計每2-3年都需要進行汰換，從2018年全球首個導入EUV製程的台積電N7+開始，在接續的製程都須仰賴EUV情況下，勢必也是另一個對光罩盒產生大量需求的來源。
邱銘乾也分享了他對於近期很夯的車用半導體看法。他觀察到車用的需求在去年經歷了一段時間的調整，今年需求不僅逐步回溫、復甦，也因為電動車等多元的應用情況下，未來一台車可能就要用到一片8吋晶圓的量。看來8吋產能吃緊可能還需要好一陣子才能緩解。
責任編輯：蕭閔云