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中國逆向工程 ASML DUV 曝光機,拆壞了還要求原廠協助

科技新報

更新於 2025年10月21日16:23 • 發布於 2025年10月21日16:00

美中兩大強權在人工智慧(AI)領域的主導權競爭日益白熱化,高階晶片已成為這場新冷戰的核心戰場。自2018年美國對中國實施嚴厲的晶片銷售制裁以來,已對中國的高科技發展造成了真實且深遠的影響。根據近日的一項報導揭露,中國在對荷蘭 ASML 公司生產的曝光設備進行逆向工程時,疑似造成設備損壞,最終不得不向原廠尋求技術支援。

The National Interes專文報導,此事不僅生動顯示美國晶片禁令殺傷力,更突顯儘管中國經濟和技術努力追上美國,但極度複雜的半導體製造領域,要完全自主仍有漫長而崎嶇的路要走。

專文表示,中國實力的重要部分,源於其不斷發展的高科技產業,這在很大程度上受惠於其進步的製造能力。然而,這種迅速追趕西方的模式,其方法卻不那麼「令人欽佩」。因為,中國的高科技和製造業生態系統之所以能夠存在,是因為美國和西方世界過去曾將大量的製造能力轉移至中國所致。

本質上,中國成為「世界工廠」後便迅速向上發展,建立了一個能與美國匹敵的高科技生產生態系統。然而,如同學者 Oded Shenkar 在其著作中所指出的,中國經濟的整個基礎是建立在透過盜竊,或複製更先進、更具創新性的國家和外國公司,從而大幅縮短漫長且繁重的開發週期的基礎之上。先前,台灣出生李開復也曾解釋,中國本土科技公司之間也存在著相互竊取和抄襲的現象。這種只顧結果的文化,唯一的目標是創造出能擴大公司利潤、增強國家聲望,以及建構國家安全的新技術和產品。

由於中國透過複製西方的科技能力來啟動其充滿活力的本土產業,使得其發展模式也在面臨地緣政治危機時留下了嚴重的瓶頸。自2018年以來,美國對中國發動了被稱為「科技戰」的行動,這是美國對中國更廣泛貿易戰的一部分。美國實施了針對高階晶片的銷售制裁。做為反制,中國則對稀土礦物實施了嚴格的出口管制,這些礦物對於製造晶片和其他重要的高科技產品,特別是美國軍事技術至關重要。

然而,美國對晶片的禁令對中國的高科技發展產生了實質的後果。在全球兩大強權爭奪人工智慧(AI)主導地位的競賽日益激烈之際,這些高階晶片禁令複雜化了中國跟上美國的能力。更重要的是,美國的晶片禁令實際上凍結了中國可靠的發展自身高階晶片的能力,使其只能使用較舊、面積較大的晶片。全球製造晶片所需、極為昂貴且複雜的晶圓製造設備-微影曝光機,主要由荷蘭ASML公司生產。由於美國的制裁,中國只能被限制使用較舊的ASML深紫外曝光設備(DUV),這嚴重阻礙了中國在AI創造方面超越美國的能力。

為了突破美國的技術封鎖,有消息指出,近幾個月來,中國一直在嘗試對ASML DUV曝光機進行逆向工程。他們此舉的目的,並不是為了大規模生產這些舊型機器。相反,中國的技術人員試圖藉由了解機器的複雜內容,來達到設備的本土複製。更重要的是,藉此開發出更先進的本土曝光設備,進一步生產被美國拒絕提供的新型且更先進的晶片。

然而,逆向工程光刻機這類設備,不像複製大多數工業設計那樣直接。消息指出,在中國拆卸其中一套舊型ASML系統的過程中似乎損壞了該機器,這促使他們聯繫ASML尋求維修協助。而且,當ASML技術人員抵達中國後,他們很快發現,這台機器並非是單純故障,而是因為中國試圖拆卸和重新組裝它而導致的損壞。此事件有力地證明了美國晶片禁令對中國造成的壓力。但同時也顯示,美國不能僅僅依靠晶片禁令來將中國永遠甩在後面。

雖然,中國在關鍵的技術和經濟領域已經追趕上了美國,這對兩國之間的整體權力平衡產生了實質性的影響。但試圖逆向工程ASML DUV曝光設備,最後卻導致其受損的事實表明,這項任務對於中國來說是何等的重要。

然而,這也表明北京還有很長的路要走。如果缺乏對所涉及精度的深刻理解,試圖逆向工程ASML曝光設備,最終的結果可能是損壞昂貴的設備,而非學會如何製造更先進的系統。因此,只要中國持續威脅美國,特別是只要中國繼續維持稀土礦物出口管制,晶片禁令就會持續。所以,中國繼續進行對DUV 曝光機的逆向工程幾乎也不會停止。最後,其結果皆會如何發展並影響美中兩國的競爭,就值得持續觀察。

(首圖來源:ASML)

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