熊本強震／晶圓廠如何挺過地震？ 專家揭三關鍵

日本熊本日前發生規模7.1強震，半導體廠震後迅速展開復工，也讓外界再度關注高精密晶圓廠如何因應地震風險。專家指出，晶圓製造對於地震極其敏感，半導體產業能與地震共存，關鍵在於廠房抗震設計、防災機制及標準化復原流程。

亞洲是全球晶圓生產重鎮，但多數國家位處地震帶。日本熊本7月28日發生規模7.1強震，外媒報導，當地半導體廠預計震後一週內陸續恢復生產，主要歸功於汲取2016年熊本地震經驗，也讓外界關注半導體產業如何與地震共存。

台經院產經資料庫總監劉佩真分析，由於晶圓廠內配置大量高精密微影、蝕刻等設備，任何震動都可能造成光學元件或晶圓定位偏移，進而影響製程。此外，晶圓製程歷時數月，無塵室環境及高純度化學品、氣體供應也不容中斷，地震一旦造成設備偏差或微粒污染，恐怕導致整批產品報廢。

為降低地震對晶圓廠影響，她說明，業者普遍建置自動斷電、斷氣系統，避免管線破裂而引發安全事故，廠房及無塵室則採用高規格減震設計，降低地震對精密設備的衝擊。設備方面，關鍵機台多固定於強化基座，並搭配強震自動偵測及保護機制。

此外，廠房配置備援發電系統及超純水儲存設備，即使停電，也能維持關鍵設備運作。

以台積電來說，熊本廠在地震後立即啟動安全應變機制，確認人員平安、廠房結構安全。台積電日前發布聲明指出，持續進行設備檢查與校正，由於震幅較大，設備校正仍需時間，因此已調派支援。

劉佩真指出，台積電過去多次歷經台灣強震，仍能在短時間內恢復生產，關鍵在於完整且標準化的防災機制。除了廠房興建初期即導入高規格抗震設計，地震發生時可立即啟動產線保護機制，而台灣工程團隊也能快速完成廠房結構檢查、設備校正及復機作業。促使台積電能在地震發生後，以最快速度恢復產能。她說：『(原音)台積電過去在台灣歷經了多次強震，能夠快速復工，核心的關鍵其實是在於它高度的標準化，而且很快速及時應對災變的機制建立得非常完整。公司在廠房新建初期，都會導入頂級的抗震工程，特別是在強震如果發生在第一時間，能夠自動啟動相關產線防護。』

她認為，台積電在台灣累積的防震與災後復原經驗，可作為海外廠區的重要參考，並透過定期演練及供應鏈韌性管理，提升海外廠區面對天然災害的應變能力。(編輯：宋皖媛)