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中國追上ASML造出EUV原型機?外媒潑冷水:少了「這公司」光學技術設備無法運作

風傳媒

更新於 01月31日06:49 • 發布於 01月31日06:50 • 李孟恩
外媒日前報導指出,中國已成功打造出首台極紫外光(EUV)曝光機原型機。圖為ASML光刻機模型。(資料照,顏麟宇攝)

美國對中國祭出晶片禁令,限制高階晶片與曝光機等半導體製造設備出口,不過,外媒日前報導指出,中國已成功打造出首台極紫外光(EUV)曝光機原型機。然而,荷蘭媒體強調,ASML的「秘密武器」正是來自蔡司的高精密反射鏡,且蔡司是ASML光學系統的唯一供應商。現今市面上最新、效能最強的手機與電腦晶片,幾乎無一不是透過ASML的設備製造,而若缺乏蔡司的光學技術,這些設備根本無法運作。

荷蘭《電訊報》(De Telegraaf)報導,在德國南部小鎮奧伯科亨(Oberkochen),隱藏著ASML能在未來數年持續維持霸權地位的關鍵力量,也就是與蔡司之間深度且密不可分的合作關係。在追求效率的荷蘭團隊推動下,德國工程師不斷挑戰物理極限,投入一場研發更精密技術、打造更強晶片的全球競賽。這座僅約8000人口的小鎮,掌控著全球運算能力進化的節奏。

蔡司半導體光學元件製造總裁Christoph Hensche表示,ASML設備能將晶片圖案縮小到什麼程度,很大程度取決於光學系統解析度的提升,「這意味著我們的反射鏡就是整個系統的心臟。」

報導提到,蔡司與ASML的合作關係可追溯至1980年代,當時ASML剛從飛利浦獨立。到了1990年代,ASML決定投入數億歐元發展當時仍前景未明的EUV技術,蔡司也選擇並肩投入研發。

ASML(艾司摩爾)是全球唯一能生產極紫外光(EUV)微影設備的供應商。(資料照,顏麟宇攝)

Hensche回憶,雙方曾共同度過無數艱難時刻,特別是在2008年金融海嘯前後,但最終找到突破困境方法。他形容,德國式的嚴謹與ASML的務實文化形成良好互補,「ASML天生更願意承擔風險,而我們則傾向深入分析、穩紮穩打。我們最終選擇共同冒險,因為雙方都知道,產品必須在正確的時間推向市場,通常是愈快愈好。」

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