小辭典》什麼是DUV設備？

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片，又稱蝕刻機、光刻機；波長不同效率差很大。最早是使用汞燈產生的紫外光源，再來是深紫外光源(Deep Ultraviolet；DUV)，波長可從365奈米縮減到193奈米；最新技術的極紫外光源(Extreme Ultraviolet；EUV)，更將波長縮減至13.5奈米。

目前以DUV設備應用最廣、需求也最大；僅台積電、三星等少數具7奈米及其以下製程能力業者，才會使用EUV。

光罩傳輸模組則是DUV設備的重要組件，負責將光罩由光罩盒傳送到光罩平台模組，之後移動光罩曝光，將電路圖版光刻在晶圓上。(記者黃佩君、高嘉和)

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