特殊氣體研發廠商耀儒科技進駐竹科銅鑼園區，穩定半導體供應鏈

因應全球半導體供應鏈重組，並打造台灣為半導體先進製程中心，鎖定高階技術及材料等未來重點布局，而國內具特殊氣體關鍵研發生產技術之耀儒科技股份有限公司（下稱耀儒科技），近期通過科技部園區審議會核准進駐竹科銅鑼園區投資建廠打造研發生產中心，為強化我國半導體供應鏈韌性助一臂之力。

竹科管理局表示，耀儒科技成立於 2020 年 4 月，公司團隊憑藉多年累積特殊氣體開發及與國外氣體大廠長期技術合作經驗，已完成開發量產包括高純度乙硼烷（B²H⁶）混合氣及高純度一氧化二氮（N²O）等特殊氣體。乙硼烷（B²H⁶）因高度不穩定特性，會引發裂解反應而形成高硼烷與其他副產物氣體，易導致半導體製造過程產生不純物與雜質，目前主要還是仰賴國外進口為主。耀儒科技掌握自主開發之製程參數，從氣體的生產、純化、收集、精餾到混配控制的精密控管流程，在穩定的生產環境中，可依半導體廠需求客製化各階段製程所需高良率及純度之氣體，成為台灣本土在地供應之第一家廠商。

2021 年因國際武漢肺炎疫情的影響，各大半導體大廠倚賴國際生產的原物料皆受到嚴重的供貨影響，耀儒科技銅鑼園區新廠預計可於 2022 年 1 月完成啟用，屆時除可就近提供台灣半導體廠所需氣體外，亦將持續投入其他特殊氣體如氯化氫（HCl）、二氯矽烷（SiCl²H²）等在地化研發製造。銅鑼園區因位居竹科與中科半導體 12 吋晶圓廠重要聚落之間，其中外商比例約佔三成，為全台外商比例最高的科學園區。

隨 AI、5G、電動車等創新應用驅動半導體產業不斷成長，近來亦投資熱絡，園區目前已有 18 家廠商與 1 家研究機構進駐，包括有供應半導體前段材料之日商台灣東應化、納美仕、福吉米及三化電子材料外，力積電 12 吋晶圓廠新建工程也預計於 2021 年啟動，連同半導體後段專業測試廠京元電子，銅鑼園區已建構出半導體產業鏈的新聚落，並形成支援半導體產業關鍵材料的特色園區，也將成為我國發展高階半導體先進製程中心最堅強的後盾。

（首圖來源：耀儒科技）