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〈2022半導體展〉信紘科推綠色製程解決方案 導入晶圓廠

〈2022半導體展〉信紘科推綠色製程解決方案 導入晶圓廠
信紘科參加2022 SEMICON Taiwan。(圖:業者提供)

信紘科 (6667-TW) 今 (14) 日出席 SEMICON 展覽,會中展出綠色製程解決方案「廢有機溶劑去除雙氧水」,可將晶圓廠生產過程的廢液再次純化為化學品,進入廠區使用,也滿足客戶衝刺 ESG 永續經營的目標。

信紘科表示,公司長期著墨綠色製程解決方案,已有多項設備與系統服務,其中,半導體製程廢有機溶劑去除雙氧水獲得政府單位技術佐證,為目前台灣唯一可安全去除雙氧水,且不破壞溶劑基質的解決方案。

信紘科補充,多數晶圓廠受限溫度、壓力、佔地等條件,在廠區內建置處理系統相當困難,且由於廢液含高濃度雙氧水,清運過程容易造成氣爆風險,也需負擔高昂清運費用,現階段採廢棄物焚化所產生的二氧化碳,也會造成環境負擔。

因此開發廢有機溶劑去除雙氧水技術,利用精密儀器設備進行定性及定量分析,選擇適當的高級氧化反應法,再加入專利配方藥劑進行廢液處理,不僅每年可為客戶節省 10% 的清運處理費用,也可減少 3000 噸的二氧化碳排放。

因基質保持完整,處理後的廢液符合工業級標準提供相關產業使用,甚至可進一步純化為電子及化學品回到廠區再次使用,協助客戶達到廢液活化再利用,創造循環經濟,邁向淨零、ESG 永續發展的目標。

展望下半年,信紘科看好,受惠晶圓廠全力趕工新廠建置及產能擴充,大型統包訂單需求增加,加上拆移機及二次配業務延伸至氣體領域,還有綠色製程解決方案也已進入個案審查階段,目前在手訂單持續創高,預期營運維持成長。

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