半導體微影製程（Lithography）是使用刻有電路圖案的光罩，並透過曝光的方式將圖案轉移到感光材料上的過程。
（圖片來源：大正節能科技）
EUV（extreme ultraviolet lithography，極紫外光微影）指波長約在13.5奈米的紫外線，EUV光刻技術是半導體製造中的先進技術，用於在晶圓上製作極小和複雜的電路圖案，這一關鍵技術由艾司摩爾（ASML）獨家掌控。而使用EUV作為光源的曝光機稱為EUV曝光機，其造價昂貴、製程複雜、供應稀缺。
（圖片來源：ASML）
隨著先進製程持續開發，EUV設備規模將持續成長
先進製程目前尚未有明確的定義，主要為七奈米作為分水嶺以下的製程，包括五奈米以及三奈米的製程。伴隨著AI、5G、自動駕駛等新興應用持續發展，對於高性能低功耗的晶片需求也不斷的提升，當前半導體行業競爭激烈，各大廠（如台積電、三星和Intel）不斷推出新技術以保持市場競爭優勢，綜上這兩點促使先進製程持續往低奈米製程發展。
隨著製程持續縮小，晶片上整合的電晶體數量就能更多，也意味著可以提供更強的計算能力、處理速度，另一方面，由於電晶體尺寸的縮小，電子通道的距離減少，電荷移動所需的距離也縮短，就可以達到降低功耗的效果。雖然先進製程的起始研發和設備成本昂貴，但隨著技術成熟量產後能實現每單位成本的降低，因為更小的電晶體能在相同的晶圓上生產更多的晶片。
根據Precedence Research數據顯示，2024年全球半導體市場規模為5,841.7億美元，預期2033年將達到11,375.7億美元，複合年成長率(CAGR)達7.64%。
（資料來源：Precedence Research）
隨著先進製程逐漸往低奈米製程發展，造就EUV需求成長，這是因為EUV使用的波長僅為13.5奈米的極紫外光，能夠在曝光中生成更小、更精細的圖案，以滿足先進製程的需求。
根據Mordor Intelligence數據顯示，2024年EUV市場規模為103.4億美元，預期2029年將達到178.1億美元，複合年成長率(CAGR)達11.5%。
（資料來源：Mordor Intelligence）
ASML第一季訂單大減，能否重返榮耀？
2023年台積電、三星佔比ASML總營收過半，但根據ASML第一季財報顯示，台灣、南韓的營收占比分別由上季的13%、25%下滑至6%、19%，然而中國的營收占比卻從39%上升至49%。另一方面，第一季的新增訂單量，從去年第四季的92億歐元驟減至36億歐元，可見一線晶圓代工大廠在第一季尚未加碼投資高階設備，其中的原因是源自於設備的單價昂貴。
（資料來源：ASML）
不過我們從台積電的存貨銷貨比可以發現，雖然近五年的存貨持續攀升，但存銷比都在平均水準，從這我們可以理解存貨的上升，是因為公司營運暢旺而準備的存貨，也因存銷比都在平均水準，台積電未有庫存堆積的問題。
此外，從台積電第一季法說會我們可以得知，先進製程佔總體營收過半，從這大約就可以推測EUV市場未來的成長性，從2021到2023年，台積電先進製程營收複合年成長率(CAGR)約落在24.8%左右，由此可知市場對先進製成需求成長性非常強勁，帶動ASML在2021到2023年EUV曝光機的的營收複合年成長率(CAGR)也高達在19.9%。
（資料來源：台積電）
（資料來源：ASML，優分析整理）
同時台積電在法說會也提及今年資本支出目標仍維持280-320億美元，並將80%投入先進製程及光罩，10-20%用於特殊製程，10%用於先進封裝。明顯台積電仍花費最多的支出在研發更高階的先進製程上，而且先進製程對於EUV技術屬於硬需求。
因為原先使用的傳統DUV技術波長較長，無法提供更高的解析度，然而使用EUV微技術，因為波長較短，能夠提供更高的解析度，使得能夠在晶圓上刻劃出更小、更精細的電路圖案，這對於7奈米、5奈米甚至3奈米以下的製程相當關鍵。
台積電從2021到2023年的資本支出複合年成長率(CAGR)達6.39%，而根據IBES統計之預測值，預期未來2024到2028年的資本支出的預測共識值仍會持續成長，複合年成長率(CAGR)達12.44%，從此就可以推測出未來EUV市場仍會持續成長。
結論
伴隨著AI、5G、自動駕駛等新興應用持續發展，對於高性能低功耗的晶片需求也不斷的提升，推升先進製程不斷往更低奈米製程發展，這也將推升EUV設備規模將持續成長，因為EUV技術屬於先進製程中的硬需求。
然而，雖然ASML第一季財報中，顯示EUV的營收較上一季減少，同時整體的訂單量也顯示公司整體營運不如預期，屬於短期的利空，但長期而言，依照台積電資本支出持續成長，對於先進製程發展不變的話，EUV市場規模長期仍是向上成長的趨勢，後續我們也可以持續追蹤下季台積電在先進製程的營收當作關鍵指標。
台廠EUV受惠概念股
相關個股：家登(3680-TW)、帆宣(6196-TW)、公準(3178-TW)、意德士(7556-TW)
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