由成信實業負責生產營運的「氧化矽污泥回收廠」是零廢製造中心的重要一環。它接收來自台積電中科、南科廠區的氧化矽汙泥，之後還會收受來自其他廠區的汙泥。
氧化矽污泥回收廠處理流程
使用於半導體研磨製程之研磨液，所產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生「氧化矽污泥」。這些氧化矽汙泥含有大量的廢水及各種化學物，需要進一步處理。
傳統回收氧化性汙泥的辦法，是提煉後做為建築材料，多半進入水泥廠。這座氧化矽污泥回收廠則採用創新的處理程序，轉變為能被更多人利用的產物。
此處的氧化矽污泥以乾燥、焙燒、浸漬程序區分固相物與液相物，分離後根據不同需求，固態物經過再乾燥與表面改質後生成礦石粉，可用於塑膠、陶瓷等工業應用；而液態產品經由萃取成為硫酸銅，可做為工業常見原料。
除了台積電中科廠區之外，這座廠同時也收受來自南科廠區的CMP污泥（化學機械研磨混合污泥），未來也計畫收受來自其他廠區的汙泥。氧化矽污泥回收廠每月收受量為800公噸，預計可擴充到1000公噸，可產出填料量為每月480公噸。
台積電台中廠務處副處長丁瑞華表示，之後台積電在高雄、竹科、台中都有新廠，屆時公司會再重新分配回收資源，將在南部興建一座新的氧化矽污泥回收廠，以供南部廠區利用。
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