台積2奈米清潔靠它!台塑德山槽車直通無塵室,「18天」改寫石化命運
「我都開玩笑說,客戶最喜歡18天的異丙醇,」台塑德山組長黃惠賢笑說。
台塑與日本德山合資成立的電子級異丙醇廠,在4年前完成建廠,台塑德山現在已經是北、中、南晶圓廠,關鍵的異丙醇生產基地。異丙醇是晶圓的清潔劑,用於洗淨晶圓加工過程中所留下的雜質,可說是半導體製程中的關鍵特化材料。
這座台日混血的廠就座落在台塑林園廠區,被綿延好幾公里的石化管線包圍,乍看之下與其他傳統石化廠沒什麼不一樣。但特別的是,一輛輛準備把異丙醇送出場的化學槽車,竟然要把連接管線,拉入無塵室裡灌裝化學品。
「一般環境會有微小粒子與污染物,所以最後灌裝需要在無塵室,」台塑德山副廠長鄭友義說。
台塑德山不評論客戶。但半導體產業人士指出,台塑德山已是台積電異丙醇最大的供應商之一。
時間回到疫情期間,這座異丙醇廠經過一年多的趕工,正式運轉。這也是台塑集團,在傳統化工原料一片不景氣下,尋求轉型的突破口。
這樣的轉型,對台塑至關重要。因此,從洽談合作開始,就是由台塑董事長層級與日本德山董事長雙邊啟動。
台塑德山組長黃惠賢說,原本這樣的國際合作案,至少要花6到8年,但因為有高層全力支持,僅花了2年多就完成。
老台塑找新出路,搶搭半導體關鍵化材
工研院產科國際所資深計劃組長劉致中分析,台灣石化產業面臨的巨大挑戰是,過去產業界仰賴快速擴產、放量、搶攻市佔率,但在中國競爭的進逼下,已漸漸行不通,必須尋找新出路。
所以,有機會跨進半導體,台塑調集資源,以速件、甚至是董事長特批的方法,就是要把高雄的新產線盡速完成,做為集團轉型的示範與前導。
台日攜手後,把原本日本德山百分百在日本生產的異丙醇,改由合資在高雄生產,背後還有新的產業現實。
日本德山創立至今,已有百年歷史。創立初期生產的是蘇打,而後跨入水泥、電子材料與特用化學等,長年跨海供應台積電異丙醇。
原本在日本生產的異丙醇,落地高雄生產,補起台灣半導體最弱環節。圖為台塑德山總經理本田治義。(謝寬攝)
過往,由日本生產接著船運到台灣的異丙醇,不包括生產,船期就要兩週。這樣的化學材料,是台積電洗淨晶圓加工過程中,晶圓表面留下雜質的關鍵材料。屬於有機類的化學品,因此和啤酒一樣,有最佳賞味期限。
黃惠賢解釋,因為製程不斷微縮,產業界對異丙醇的要求也愈來愈高,跨海運送的方式,船運調度與品質都已是極限,必須要有在地伙伴。
但踏上這條路,才是艱辛道路的起點。從實驗室的高檢測頻率,到化學槽車的運送,以及配合客戶的速度等,都是台塑德山的新挑戰。
舉例來說,一趟運送化學品到客戶廠裡的任務,石化業只要花半天左右,但半導體至少要一天。
主要的差異在於,以往石化業是以整批檢驗後,出貨給客戶,但半導體要求全檢。所以,台塑德山每一輛槽車,要把管線拉入無塵室裡填充,避免空氣中雜質混入。槽車進出廠前,也都必須逐車檢驗,才能把異丙醇送到晶圓廠。
台塑德山化學槽車,要把連接管線拉入無塵室裡灌裝化學品。(謝寬攝)
另外,台塑德山的槽車要進入晶圓廠,司機與車輛都要經過驗證,才能被列為「白名單」。「我是石化業出身,一開始也覺得很納悶,」黃惠賢坦言。
半導體「開眼」挑戰,品管人力增3倍
另一個轉變是,做半導體生意,品管與檢驗的人力配置也須大幅增加。
以往石化業的品管與檢驗單位,僅需6到7人就夠,但台塑德山的廠區,約有80多位員工,有將近30人,都屬於品管與檢測單位。
即時提供服務,也成為服務半導體客戶的基本功。一般而言,石化業客戶不需過多服務,甚至不想讓台塑知道太多細節。但半導體不一樣,除了要參與先期的開發外,更不能怕客戶來煩,「現在觀念都要改,我們與客戶的溝通愈來愈多,」一位台塑德山的員工表示。
這不只是本土化工廠單向升級,也是台灣半導體產業鏈補起最弱的特化材料環節的契機。有說同樣語言與雷同工作文化的在地製造伙伴,和晶圓廠一起練功、打怪。
舉例來說,為了繼續提高良率,並且配合先進製程的開發,半導體大廠的團隊,如奈米材料、品質管理等等的團隊等,都會以精密儀器,不斷尋找過去未知的雜質,力求做到完美。
然而,這被半導體大廠稱為「開眼」的極限挑戰,找出新雜質後,還需要在地供應鏈快速反應,找出解方。
「開眼」對台塑德山的員工而言,是巨大無比的壓力。一旦遇到「開眼」,半導體廠為了降低任何風險,也可能會要求供應商暫緩供貨,直到找到精進方法。所以雙方的會議,平常是一週開一次會,如果遇到這個時刻,天天開會就是日常。
2奈米需求增一倍,產能也要擴一倍
「台灣半導體產業的製程演進,在地供應商扮演關鍵角色,半導體能走到最前端,供應商也是被客戶逼出來的,」鄭友義直言,若供應商跟不上,半導體產業也無法前進。
跟上半導體的速度和標準,在地伙伴也能在「量」上,加大力度支援。因為台積電預計在台灣持續擴大2奈米與更先進製程的產能,都讓異丙醇的需求大增。
因為,愈先進的製程,重複在晶圓上疊加材料的次數愈多,必須清洗的次數就會更多。以2奈米來看,異丙醇的用量幾乎比7奈米增加一倍。
配合這樣的趨勢,台塑德山也已經啟動第2期的擴廠,預計把現有的3萬噸產能增加一倍。同時,他們也配合客戶減碳,正在廠裡建立異丙醇回收再利用的產線。
不過,台灣石化產業要在蓬勃發展的半導體化學領域,搶下更多市場,未來仍有挑戰。劉致中觀察,石化產業要跨入半導體的兩大門檻,時機與速度都是關鍵,接下來台灣石化業必須抓準新產品開發的方向,先期參與,也快速跟緊客戶,搶下更多新機會。
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