異丙醇(IPA)是用於半導體晶圓清洗與濕式蝕刻製程之乾燥用溶劑。使用過的「廢異丙醇」溫度約降低5%~15%,傳統廢液處理程序是經過2道蒸餾塔處理,分別是除水蒸餾和破共沸的高純度蒸餾,這些處理完的再生異丙醇純度達到99%,可銷售至塗料業等產業使用。
但在這座異丙醇回收廠,長春石化藉由軟體模擬和模廠優化,進行截然不同的異丙醇回收流程。
零廢中心導覽員說,他們把2支塔增加到5支,包含第1支塔進行「前處理」,去除不純物質,藉由熱回收的蒸氣,蒸餾去除部份水份與不純物後產生共沸,再運用2支電子級精餾塔,進行純化和去雜質動作,讓99%純度的再生異丙醇到達6N(99.9999%)等級,重新回供半導體製程使用。
異丙醇回收廠可回收台積電晶圓十五廠每月收受量為2,300公噸,每月可產出再生異丙醇量為300公噸。而且,此廠所使用的能源是來自廢熱回收所產生的蒸氣,同時可減少能源使用。
台積電台中廠務處副處長丁瑞華表示,先進製程對異丙醇(IPA)需求非常高,高於一般的成熟製程;所以異丙醇是台積電非常頭痛的問題之一。有了這套回收系統後,異丙醇可以回到生產線,解決部分產線問題。
長春石化異丙醇回收廠廠長張鐸耀也表示,IPA 對台積電來說是很重要的化學品,長春跟隨台積電一起見證台灣奇蹟,甚至也跟著台積電一起去美國亞歷桑納設廠。
張鐸耀強調,再生異丙醇要達到6N(99.9999%)電子級,才能提供給半導體5奈米以下先進製程使用。這座異丙醇回收廠面積約為七千平方公尺,目前廠區人力精簡,採24小時值班制。
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