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台積電3、5奈米廠受地震影響機台設備移位 傳報廢晶圓不少

中廣新聞網

更新於 13小時前 • 發布於 13小時前
台積電位於南科的晶圓廠受地震影響的機台設備移位、晶圓破損。(圖:取自台積電官網)
台積電位於南科的晶圓廠受地震影響的機台設備移位、晶圓破損。(圖:取自台積電官網)

嘉義0121強震造成不少災情,晶圓代工龍頭廠台積電位於南科的晶圓廠受地震影響的機台設備移位、晶圓破損。經過搶修後,供應鏈傳出,3、5奈米的先進製程晶圓十八廠,預計將於23日達100%復機,準備恢復正常生產,晶圓十四廠復機還沒有明確時間表。

台灣21日凌晨發生芮氏規模6.4地震,台積電位於南科的晶圓廠區測得最大震度為5級,影響最大,為了確保人員安全,廠區依公司內部程序啟動相關安全預防措施,第一時間進行人員疏散,並於凌晨1時許全數完成清點,確定人員皆安全無虞,各廠區也完成建築震後損害檢查,確認結構安全無虞。

台積電震後立即召集生產線人員、設備等供應商,搶修機台設備移位、晶圓破損等後續善後工作。供應鏈指出,3、5奈米的先進製程晶圓十八廠,為新建晶圓廠,防震係數高,估計設備移位等影響數約達3-4成,「機台影響不輸去年0403地震」,盤點十八A、十八B廠破損晶圓約超過2.5萬片至3萬片之間。

台積電12吋晶圓十四廠震損也不輕,供應鏈傳出,估計一半機台設備受影響,十四A與十四B廠破損報廢晶圓超過3萬片。晶圓十八廠與晶圓十四廠整體損失恐直追0403地震達30億元以上,台積電預計晶圓十八廠預計於23日達100%復機,準備恢復正常生產。晶圓十四廠還在全力搶救,目前還沒有復機時間表。

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