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理財

陸政企合力推動,IC用高端光阻劑研發料加速

MoneyDJ理財網

發布於 2021年03月11日04:28

MoneyDJ新聞 2021-03-11 12:28:13 記者 新聞中心 報導

上證報報導,作為高端新材料,積體電路用光阻劑被寫入中國「十四五」規劃綱要草案,高端光阻劑中國國產化可望加速。據悉,在政策支持及企業投入下,已有多家A股公司深度布局IC用高端光阻劑,例如KrF(248nm)、ArF(193nm)及相關領域,並取得一定進展。
其中,在次先進的KrF(248nm)光阻劑方面,多家公司已完成研發,進入驗證及量產產業化階段,例如彤程新材控股的北京科華指出,公司是中國國內首家獲得台積電KrF(248nm)訂單的公司,也是中國國內唯一一家量產KrF光阻劑的公司;晶瑞股份表示,公司的KrF光阻劑已進入客戶測試階段,爭取3年內完成量產。上海新陽表示,公司購買的ASML-1400光刻機已於近日到貨進場,南大光電也在奮力推進ArF(193nm)光阻劑的中國國產化。
除此之外,還有部分上市公司直接切入積體電路光阻劑的原材料領域,久日新材於去(2020)年8月揭露,擬收購大晶新材100%股權,切入光阻劑專用光敏劑領域。
晶瑞股份董事李勍表示,對於半導體材料中國國產化,最終的競爭力是落在更上游的設備、材料領域,這也是中國半導體產業最薄弱的環節,但所在領域的企業面臨規模較小、研發經驗不足、研發人才缺失、研發投入巨大而回報週期長等問題;政府應該給予高端半導體設備、材料類企業更多研發支持,解決「小馬拉大車」的問題。
據了解,光阻劑及其部分原材料,是中國半導體產業典型的「卡脖子」領域,尤其是在全球用量最大的先進積體電路用高端光阻劑KrF(248nm)、ArF(193nm);目前全球高端光阻劑市場主要由日本的信越化學、合成橡膠、東京應化、住友化學等公司所掌握。 資料來源-MoneyDJ理財網

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