使用於半導體濕式蝕刻與清洗製程的氫氟酸含有劇毒，素來有「蝕骨水」之稱，其所釋出的氟離子腐蝕力很強，會直接穿透人體組織，造成永久性傷害。因此，製程中所產生之氫氟酸廢水，無法直接排放，必須把含氟廢水經氟酸化混合程序後產生固態狀氟化鈣污泥，再做進一步處理。
在零廢中心成立前，這些氟化鈣污泥是委外由廠商處理。如今，由立盈環保科技負責經營的「氟化鈣污泥回收廠」，將氟化鈣污泥經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，再導入成型機造粒與乾燥後，生成一顆顆猶如馬卡龍造型的「人造螢石」，可作為助熔劑應用於鋼鐵業。
氟化鈣污泥回收廠每月收受量為1,500公噸，產出人造螢石量為每月750公噸，螢石純度約75～80%，提供給國內外各大鋼鐵廠使用。
立盈環保科技表示，此舉可解決半導體產業所面臨的廢棄物處理問題，再利用後的人造螢石產品則可完全取代國內煉鋼廠從海外進口天然螢石的需求，避免海外原物料遭限制出口的斷料問題，同時大幅降低鋼廠的用料成本，提高市場的競爭能力。立盈平鎮廠每月產出之人造螢石全數銷售予中鋼、東鋼、豐興、燁聯等國內及東南亞等地之各大煉鋼廠使用。
立盈環保科技總經理陳俊琦強調，「目前天然螢石幾乎都從中國大陸進口，每公噸價格約1萬2千元。而立盈提供給國內鋼廠的價格約台幣4千元，對鋼鐵廠來說，成本只有原來的三分之一。」這座氟化鈣污泥回收廠每月收受量為1,500公噸，換算下來每月約可進帳600萬元。
台積電台中廠務處副處長丁瑞華指出，天然螢石需要開採，過程中會產生碳排和運輸成本，但廢棄物在回收過程中，可能只有一小部分由用電產生的碳排。
他進一步表示，未來台積電規劃在南科設置氫氟酸製造回收廠，將螢石提高到97%純度。提高之後，可轉換為無水氫氟酸，並進一步成為電子級氫氟酸，就可回到半導體生產製程中。
陳俊琦對媒體說，還好我們有台積電，零廢中心在全世界是獨一無二的！他進一步解釋為何是「獨一無二」，因為全世界只有台灣有半導體聚落，能提供如此大量的氟化鈣汙泥，而且能穩定供應，所以立盈才能做這樣的產出；這是全世界其他半導體生產據點，都無法達到的規模。
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