1 月底，晶圓代工龍頭台積電位於南科的 14B 廠發生了因為使用不合規定的光阻液，造成大量晶圓瑕疵而報廢的事件，使得台積電因此損失了新台幣數十億元，並且進一步調降 2019 年第 1 季的財測，造成市場極大的震撼，這也讓許多企業了解，針對液態材料缺陷檢測的重要性。對此，國內電子檢測驗證大廠宜特科技就推出了液態材料缺陷檢測服務，以因應目前市場上的相關需求。
宜特科技表示，由於半導體多道製程中，包括晶圓生產的黃光蝕刻、薄膜等製程中，或是其他太陽能、LED 晶片等電子產品的製造過程，都有機會因使用到不合規定的液體或揮發性材料而造成缺陷的問題。因此，宜特科技宣布推出液態材料缺陷檢測服務，將有助於相關業者分析液態材質缺陷。
宜特科技指出，針對一般樣品，宜特科技會使用掃描式電子顯微鏡 SEM (Scanning Electron Microscope) 進行樣品表面形貌的檢測。然而，樣品必須於真空系統下作業，並且樣品侷限在固體。至於，對於液態或揮發性材料，由於此類樣品會影響電子顯微鏡的真空度，並可能造成腔體污染，因此以往若要使用 SEM 的方式進行檢測，具有難度。
為解決這樣的難題，一般方式通常會將液態或揮發性材料烘烤後，變成固態，再將固態樣品利用 SEM 進行檢測。然而，往往經過烘烤後的樣品形貌均可能已失真，例如液態材料內之粒子 (Particle) 分布與分散性，這些特性於材料經烘烤後均已改變，其檢測結果便無法達到其真實性，因此宜特科技特別引進液態材料專用的 SEM 載台，以解決此問題。
宜特科技進一步指出，新式的 SEM 液態載台是封閉式結構，可以將液態或揮發性材料封閉其中，故可避免影響 SEM 的真空度與真空系統污染等問題。此外，SEM 電子顯微鏡透過載台表面厚度僅數十奈米之氮化矽 SiN 薄膜，仍可以激發出液態樣品表面之二次電子或背向電子，藉此可以順利成像。
最後，若搭配 EDS 工具 (Energy Dispersive Spectroscopy) 檢測，即可進行成份分析。除此之外，SEM 影像可透過專用軟體進行分析，即可得到尺寸分布、分散性、形狀分佈等數據資料，以做為材料研發或製程改善、監控的依據。而透過這樣的檢測做法，將可以降低企業採用到不合格液體或揮發性材料的風險，避免企業的生產損失。
(首圖來源:宜特科技提供)
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