半導體製造供應鏈中，攸關晶片生產的「前端製程設備」多由歐、美、日大廠主導，包括應用材料（AMAT）、科磊（KLA）、艾司摩爾（ASML）、科林研發（Lam）、東京威力科創（TEL）等大廠。
近年來，也有數家台廠搶進門檻高的前端製程設備市場，將於12月中由興櫃轉上櫃掛牌的設備廠明遠精密，便是值得關注的新星之一。
成立於2010年的明遠精密，由半導體製程設備的技術維修服務起家，並拓展自有品牌業務，主要產品包括化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）製程中的關鍵設備子系統。
明遠精密於11月25日舉辦媒體交流會，董事長寇崇善表示，明遠以「臭氧」、「電漿」、「高效率電源」、「微波」4大核心技術，提供技術服務及自有品牌產品，維修業務並可望擴展至12吋的先進製程領域，預期營收有望持續成長。現階段營收比重，分別為技術服務51%、自有品牌30%，以及備品買賣19%。
明遠精密今年前三季營收為新台幣5.7億元、年增3%，稅後淨利7,638萬元，每股盈餘（EPS） 2.5元。今年前10月營收累計為6.5億元、年增6.39%。
製程設備ESG好幫手！節省近7成能耗
明遠的客戶包括半導體廠、設備廠、二手設備商等，所提供的產品於半導體製程中扮演關鍵角色：
臭氧供氣系統（Ozone）用於ALD製程，有助於提高薄膜均勻性和致密性，對提升半導體元件性能至關重要；
遠端電漿源（RPS）主要用於腔體清潔，能有效去除製程殘留物，同時減少對腔體的損傷，延長設備壽命；
高效節能射頻電源系統（RF Power System）則用於CVD製程，確保氣體分子在沉積過程中均勻裂解和反應，形成高質量薄膜。
值得一提的是，半導體製程設備許多是耗電量極大的「吃電怪獸」，隨著徵收碳費、電費高漲下，節能議題日趨受到重視，也成為客戶換機或添置新設備時的考量。
明遠自主開發的ACME射頻電源系統，對於節省能耗甚有助益，經客戶經驗證可達到68％的節電效能表現，已通過半導體龍頭廠認證並量產出貨。
擴大進軍海外，前進日本熊本
明遠表示，在國際市場上目前已布局美國、日本和中國等主要市場，於竹北、南科、上海、日本成立四處營運據點，確保產品能夠及時滿足當地市場的需求。同時，公司也積極推動供應鏈多元化，減少對單一地區依賴，確保當某個地區遭遇供應鏈中斷時，不會影響整體生產和銷售的穩定性。
針對海外布局，寇崇善表示，位於日本熊本的營運中心已建置完成，作為大廠的後勤供應鏈，將採取直接經營模式，會陸續進駐。至於美國市場，考量設廠風險較大，則是以合作方式規劃，與策略夥伴一同合作。
法人指出，除了原有技術服務市場以外，明遠積極開拓自有品牌設備市場，包含ACME半導體射頻電源系統及臭氧供應系統AOS等，由自有品牌切入晶圓代工客戶實績，有望提升市占率。
另一方面，明年半導體產業資本支出成長將較今年強勁，且先進製程需求維持強勁，將進一步帶動半導體設備需求，預期明遠也有望從中受惠。
明遠配合上櫃前公開承銷，對外競價拍賣2,088張，競拍底價60元，最高得標張數266張，暫定承銷價69元。競拍時間則為11月26日至28日，12月2日開標；12月4日至6日辦理公開申購，12月10日抽籤，暫定12月16日掛牌。
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責任編輯：李先泰
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