文／楊喻斐
根據《財訊》報導，台灣最大外商、記憶體大廠美光科技位於台中后里園區的A3廠6月10日首度對外曝光，邀請了大批媒體前往參觀，不過可惜的是，最新的EUV（極紫外光曝光機）設備尚未到位，無法讓現場的媒體一窺這個全球最貴的機台，不過，台灣美光新任董事長盧東暉則透露為什麼選擇此時引進EUV。
每每從國道一號往后里南下之際，遠眺即可看台灣美光后里廠，「Micron」六個藍色英文字母已成為后里地區的地標之一。根據《財訊》報導，這次美光持續加碼投資台灣，斥資上千億元打造A3新廠，該廠區約有五分之一的面積將專屬於EUV設備使用。
《財訊》報導指出，A3廠於2019年動土，2020年下半年完成無塵室建置，主要規劃是用於增加無塵室空間的技術升級，為先進製程節點1gamma技術轉移做準備，預計今年下半年將迎來第一台的EUV，2024年導入量產用在1gamma技術節點。
為什麼選擇這個時間點導入EUV？《財訊》分析，甫上任3個月的台灣美光新任董事長盧東暉說，EUV設備早就被台積電、三星等廠商採用，「我們一直在等，等待整個生產系統的設備更加具有可靠性以及周邊相關設備如光罩等更加成熟之際」。
台積電於2015年正式裝機第一批EUV設備，率先應用於7奈米製程生產邏輯IC產品。隨著半導體先進製程需求越來越大，EUV成為主要關鍵設備，不只台積電，英特爾、三星也都相繼導入。
《財訊》報導進一步指出，從2015年迄今，EUV設備進入先進半導體製程已長達近8年的時間。因此，盧東暉認為，目前關於EUV設備的知識庫已有一段時間的累積，也有助於員工相關專業技能的提升，所以現在引入是一個很好的時機點。
另一方面，從EUV的生態供應鏈觀察，盧東暉強調，台灣比全世界任何一個地方更加完善，EUV製造商ASML也看到這樣的機會，才會宣布在台灣持續加強人才的培育。
再者，《財訊》分析，扶植供應鏈本土化也是未來美光的重要任務之一。盧東暉認為，供應鏈本土化，不只是成本、效率等考量，服務品質也會比較好。尤其，受到疫情影響，運費變得非常的貴，所以接下來，美光希望可以在台灣打造完整且更加穩定的本土供應鏈。
不過，《財訊》報導指出，EUV設備早已從邏輯IC應用到DRAM市場，DRAM龍頭廠三星於2020年3月即開始出貨以EUV設備生產的DRAM產品。相較於競爭對手來說，美光導入EUV設備以及量產的時間點都遠遠落後，是否會擔心未來的技術競爭力？
盧東暉表示，台灣美光接下來將導入兩個最新DRAM技術，其中1β技術將於今年底在日本先試產後，明年再導入到台灣，以既有DUV浸潤式設備大規模生產1β產品，公司內部對於1β的競爭力非常有信心，不論是成本、效能、功耗等各方面表現。
最後，盧東暉表示，美光將在A3廠區打造1gamma技術的研發走廊，預計採用EUV設備的1gamma技術節點將於2024年投產，儘管市場競爭一直都有，但從美光的技術藍圖進展來看，這個時間點產出的1gamma技術將是最佳時機。…（更多精彩內容，詳見《財訊》雙週刊）
